[发明专利]有机发光显示设备的制造方法有效
申请号: | 201811067225.3 | 申请日: | 2018-09-13 |
公开(公告)号: | CN109360906B | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 杨阳;古春笑;刘成;崔永鑫 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L21/84;H01L27/12 |
代理公司: | 北京曼威知识产权代理有限公司 11709 | 代理人: | 方志炜 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 发光 显示 设备 制造 方法 | ||
本申请提供一种有机发光显示设备的制造方法。其中,所述制造方法包括:在承载基板上形成含有光敏材料的柔性衬底;在柔性衬底上形成薄膜晶体管;在薄膜晶体管上形成功能膜层;对柔性衬底进行曝光。本申请中,通过在柔性衬底中加入光敏材料,并对光敏材料曝光而使光敏材料的分子链裂解,使柔性衬底软化,柔性衬底在弯折时能够吸收大部分弯折应力,从而减小功能膜层所受应力,降低功能膜层分离或断裂的风险。
技术领域
本申请涉及显示领域,尤其涉及一种有机发光显示设备的制造方法。
背景技术
有机发光显示设备是一种利用了在电极之间的薄膜发射层的自发光装置,因此可以使得整个装置更薄。此外,有机发光二极管装置不仅在低电压驱动的能耗方面具有优势,而且还具有优异的色彩实现、响应速度、视角和对比度。
而柔性有机显示设备作为下一代显示设备受到了广泛关注,这种显示设备被制造成在诸如柔性材料(例如塑料)之类的显现出柔性的衬底上形成显示单元和导线,由此即使在像纸一样弯曲时也会显示图像。在显示设备弯折时,因为应力集中无法释放,某些膜层可能因此分离或断裂,引起部分失效或全部失效,影响柔性显示设备的显示效果和使用寿命。
发明内容
本申请提供一种柔性有机发光显示设备的制造方法,可以有效减小弯折时功能膜层所受到的应力。
本申请提供一种有机发光显示设备的制造方法,所述制造方法包括:在承载基板上形成含有光敏材料的柔性衬底;在柔性衬底上形成薄膜晶体管;在薄膜晶体管上形成功能膜层;对柔性衬底进行曝光,使光敏材料的分子链裂解。
进一步的,在承载基板上形成含有光敏材料的柔性衬底,包括:在聚合物溶液中加入光敏材料;在承载基板上涂布含有光敏材料的聚合物溶液;对承载基板上的聚合物溶液进行固化,形成柔性衬底。
进一步的,所述光敏材料包括光刻胶。
进一步的,所述光敏材料在柔性衬底中的质量占比为0.5%~3%。
进一步的,所述制造方法还包括:在承载基板上涂布聚合物溶液前,对聚合物溶液进行搅拌,使光敏材料均匀分布于聚合物溶液中。
进一步的,对柔性衬底进行曝光,包括:利用波长范围为365-410nm的光对柔性衬底背对功能膜层的表面进行曝光。
进一步的,对柔性衬底进行曝光,包括:对柔性衬底背对功能膜层的表面进行局部曝光。
进一步的,所述对柔性衬底背对功能膜层的表面进行局部曝光,包括:将光学掩模版覆盖于柔性衬底背对功能膜层的表面,采用波长范围为365-410nm的光穿过掩膜版的透光区,对柔性衬底背对功能膜层的表面进行局部曝光。
进一步的,所述制造方法包括:在对柔性衬底进行曝光前,剥离承载基板。
进一步的,所述制造方法包括:在剥离承载基板后,对柔性衬底、薄膜晶体管和功能膜层所组成的结构进行模组组装,模组组装完成后对柔性衬底进行曝光。
本申请还提供一种有机发光显示设备,包括柔性衬底、薄膜晶体管及功能膜层,所述柔性衬底包含有曝光后分子链裂解的光敏材料;所述薄膜晶体管形成于所述柔性衬底上;所述功能膜层,形成于薄膜晶体管上。
本申请中,通过在柔性衬底中加入光敏材料,并对光敏材料曝光而使光敏材料的分子链裂解,使柔性衬底软化,柔性衬底在弯折时能够吸收大部分弯折应力,从而减小功能膜层所受应力,降低功能膜层分离或断裂的风险。
附图说明
图1所示为本申请有机发光显示设备的一个实施例的结构示意图;
图2所示为图1所示的有机发光显示设备的制造方法的流程图;
图3所示为在承载基板上形成柔性衬底的结构示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择