[发明专利]带电粒子束描绘装置及消隐电路的故障诊断方法

权利要求书

1.一种带电粒子束描绘装置，具备：

放出部，放出带电粒子束；

消隐偏转器，通过消隐电压的施加而偏转所述带电粒子束，进行束流的消隐控制；

消隐电路，对所述消隐偏转器施加所述消隐电压；

平台，载置被所述带电粒子束照射的基板；

标记物，设于所述平台上；

检测器，通过所述带电粒子束对所述标记物的照射，检测所述带电粒子束的照射位置；及

诊断部，比较第1照射位置与第2照射位置的差分，在该差分为规定值以上的情况下，诊断为所述消隐电路中已发生故障，所述第1照射位置是在针对所述标记物而将所述带电粒子束设为规定的散焦状态下在第1照射条件下用所述带电粒子束扫描所述标记物的情况下由所述检测器检测而得到的，所述第2照射位置是在针对所述标记物而将所述带电粒子束设为规定的散焦状态下在与所述第1照射条件相比照射时间及建立时间的至少某一个变动而得的第2照射条件下用所述带电粒子束扫描所述标记物的情况下由所述检测器检测而得到的。

2.如权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

还具备：对照射所述基板或所述标记物的所述带电粒子束的焦点位置进行调整的透镜。

3.如权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，

所述第1照射条件和所述第2照射条件为所述照射时间与所述建立时间的比率不同。

4.如权利要求1所述的带电粒子束描绘装置，其特征在于，通过所述平台向高度方向移动，将所述带电粒子束对于所述标记物设为规定的散焦状态。

5.一种消隐电路的故障诊断方法，具备：

进行使用消隐电路对消隐偏转器施加消隐电压而切换带电粒子束的开关的消隐控制的工序；

将所述带电粒子束对于设置于载置有描绘对象的基板的平台上的标记物设为规定的散焦状态，用所述带电粒子束在第1照射条件下扫描所述标记物，检测所述带电粒子束的第1照射位置的工序；

在所述规定的散焦状态下，在与所述第1照射条件相比照射时间及建立时间的至少某一个变动而得的第2照射条件下，用所述带电粒子束扫描所述标记物来检测所述带电粒子束的第2照射位置的工序；及

比较所述第1照射位置和所述第2照射位置的差分，在该差分为规定值以上的情况下，诊断为所述消隐电路中故障已发生的工序。

6.如权利要求5所述的消隐电路的故障诊断方法，其特征在于，

用所述带电粒子束扫描所述标记物之前，用物镜来改变所述带电粒子束的焦点位置。

7.如权利要求5所述的消隐电路的故障诊断方法，其特征在于，

所述第1照射条件与所述第2照射条件为所述照射时间与所述建立时间的比率不同。

8.如权利要求5所述的消隐电路的故障诊断方法，其特征在于，

通过将所述平台向高度方向移动，将所述带电粒子束对于所述标记物设为规定的散焦状态。

9.如权利要求5所述的消隐电路的故障诊断方法，其特征在于，

在描绘处理的中途，对所述消隐电路有无故障发生进行诊断，在所述差分小于规定值的情况下，诊断为所述消隐电路中故障未发生，诊断后，使所述带电粒子束的焦点位置与所述基板的表面高度一致，并重启描绘处理。