[发明专利]一种膜层厚度检测装置、在线检测系统及方法

权利要求书

1.一种膜层厚度检测装置，其特征在于，包括椭偏仪(5)、支撑台(14)、样品定位装置和驱动装置；

所述驱动装置设在所述支撑台(14)上，所述驱动装置上还设置了样品台(12)，所述驱动装置用于驱动所述样品台(12)相对所述支撑台(14)移动，所述样品台(12)用于放置样品；

所述样品定位装置用于根据所述样品在所述样品台(12)上的位置和所述椭偏仪(5)的检测区域确定所述样品台(12)相对所述支撑台(14)的移动距离，以使设置在所述样品台(12)上的样品移动至所述椭偏仪(5)的检测区域；

所述椭偏仪(5)用于检测所述样品的膜层厚度。

2.如权利要求1所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，

所述支撑台(14)上还设置了龙门架(6)，所述样品定位装置和所述椭偏仪(5)设置在所述龙门架(6)上。

3.如权利要求1所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，

所述驱动装置包括相互垂直的第一驱动轨道和第二驱动轨道，所述第一驱动轨道和所述第二驱动轨道分别包括驱动电机和轨道。

4.如权利要求1所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，

所述样品台(12)为真空吸附台。

5.如权利要求1-4任一项所述的膜层厚度检测装置，其特征在于，

所述龙门架(6)上还包括标识识别装置(10)，所述标识识别装置(10)用于识别所述样品标识与检测到的所述样品的膜层厚度相对应。

6.一种膜层厚度在线检测系统，其特征在于，包括样品输送装置、机械手(2)和膜层厚度检测装置(3)；

所述机械手(2)将所述样品输送装置内的样品放置在所述膜层厚度检测装置(3)的样品台(12)上，通过所述膜层厚度检测装置(3)检测样品的膜层厚度，所述膜层厚度检测装置(3)如权利要求1-5任一项所述；或者，

所述机械手(2)将所述膜层厚度检测装置(3)的样品台(12)上完成膜层厚度检测的样品放置在所述样品输送装置内。

7.一种膜层厚度在线检测方法，其特征在于，所述方法包括：

获取第一位置信息，所述第一位置信息为样品在所述样品台(12)上的位置信息；

根据所述第一位置信息和所述样品台(12)的位置信息，确定所述样品相对支撑台(14)的第二位置信息，所述样品台(12)设置在所述支撑台(14)之上，所述样品台(12)的位置信息为所述样品台(12)相对所述支撑台(14)的位置信息；

将所述第二位置信息与存储的标准检测位置信息进行对比；

当所述第二位置信息与所述标准检测位置信息不相匹配时，向驱动装置发送所述第二位置信息所对应的坐标与所述标准检测位置信息所对应的坐标的差值，以使所述驱动装置驱动所述样品台(12)移动所述差值的距离。

8.如权利要求7所述的膜层厚度在线检测方法，其特征在于，

所述标准检测位置信息所对应的坐标为坐标区域。

9.如权利要求8所述的膜层厚度在线检测方法，其特征在于，

所述方法还包括，获取所述样品的标识；

将检测到的所述样品的膜层厚度和所述样品的标识关联。

10.如权利要求9所述的膜层厚度在线检测方法，其特征在于，所述获取所述第一位置信息之前，所述方法还包括：

通过机械手(2)将样品从样品输送装置输送至所述样品台(12)，通过机械手(2)将样品从所述样品输送装置输送至所述样品台(12)的位置为第一位置，所述第一位置信息为所述第一位置的信息。