[发明专利]掩膜组件及掩膜组件的制造方法

说明书

本发明公开一种掩膜组件及掩膜组件的制造方法，掩膜组件包括：掩膜框架，包括开口部；掩膜，布置在掩膜框架上；以及支撑杆，布置在掩膜框架与掩膜之间，并包括沿着长边而排列的第一夹紧部、中心部及第二夹紧部，并且中心部与所述掩膜重叠，支撑杆的中心线以经过所述支撑杆的短边的中点而穿过第一夹紧部和第二夹紧部的短边的中点的方式沿着长边延伸而被定义，支撑杆的重心定义于所述中心线上，中心部以中心线为基准而分为具有不同形状的第一部分及第二部分。

技术领域

本发明涉及一种掩膜组件及掩膜组件的制造方法，尤其涉及一种在掩膜框架及掩膜之间布置支撑杆而使沉积物质能够沉积于目标位置的掩膜组件及掩膜组件的制造方法。

背景技术

显示装置为了向用户提供多种视觉信息而通过显示区域输出影像或图像。显示装置中的有机发光显示装置具有视野宽、对比度优秀及响应速度快的优点。这种有机发光显示装置的显示区域由多个像素构成，并且多个像素可以通过沉积物质的沉积过程而形成显示区域。例如，可以利用高精度金属掩膜(FMM)将有机物沉积于基板上，从而形成所期望的图案的薄膜。

在有机物沉积过程中，为了在显示区域形成沉积物质无法穿过的非活性区域，在掩膜组件及掩膜之间布置支撑杆。此时，支撑杆以被施加张力的状态得到固定，且由于张力产生变形，从而存在无法在所期望的位置沉积有机物的问题。

发明内容

本发明涉及一种用于掩膜组件的支撑杆，其目的在于提供一种用于在施加张力的情况下最小化支撑杆的变形的掩膜组件。

根据本发明的一实施例的掩膜组件包括：掩膜框架，包括开口部；掩膜，布置在所述掩膜框架上；以及支撑杆，布置在所述掩膜框架与所述掩膜之间，并包括沿着长边而排列的第一夹紧部、中心部及第二夹紧部，并且所述中心部与所述掩膜重叠，所述支撑杆的中心线以经过所述支撑杆的短边的中点而穿过所述第一夹紧部和所述第二夹紧部的短边的中点的方式沿着所述长边延伸而被定义，所述支撑杆的重心定义于所述中心线上，所述中心部以所述中心线为基准而分为具有不同形状的第一部分及第二部分。

所述掩膜可以包括多个开口，所述多个开口由与所述支撑杆重叠的非活性区域以及作为与所述非活性区域以外的部分的活性区域定义。

所述第一部分及所述第二部分可以具有相同的面积。所述第一部分及所述第二部分各自的暴露的边中的至少一个可以具有图案部，所述暴露的边是所述支撑杆的所述长边的一部分。所述第一部分及所述第二部分各自的暴露的边可以包括彼此不同的图案部，所述暴露的边是所述支撑杆的所述长边的一部分。所述第一夹紧部及第二夹紧部的面积可以相同。所述支撑杆的厚度为50μm至150μm。所述支撑杆可以利用非磁性物质构成。

根据本发明的一实施例的掩膜组件包括：支撑杆，包括长边及短边，并包括沿着所述第一长边排列的第一夹紧部、中心部及第二夹紧部；多个掩膜，沿着所述长边方向排列，并且分别与所述支撑杆重叠；所述支撑杆的中心线，以如下方式定义：沿着所述长边方向延伸，并经过所述支撑杆的所述短边的中点而穿过所述第一夹紧部和所述第二夹紧部的短边的中点，所述中心部以所述中心线为基准而分为具有彼此不同的形状的第一部分及第二部分。

所述支撑杆可以配备多个，并且沿着所述短边方向而相隔布置。

所述掩膜可以包括多个开口，所述多个开口由与所述支撑杆重叠的非活性区域以及作为与所述非活性区域以外的部分的活性区域定义。

所述第一部分及所述第二部分可以具有相同面积。所述第一部分及所述第二部分各自的暴露的边中的至少一个可以具有图案部。所述第一部分及所述第二部分各自的暴露的边可以具有彼此不同的图案部。所述第一夹紧部及第二夹紧部的面积可以相同。