[发明专利]一种显示基板及其制作方法、显示面板及显示装置

说明书

本发明提供了一种显示基板及其制作方法、显示面板及显示装置，涉及显示技术领域。本发明通过在衬底上通过构图工艺形成阳极，形成覆盖阳极的无机绝缘层，在无机绝缘层上通过构图工艺形成像素界定层，像素界定层的开口区域在阳极上的正投影位于阳极所在的区域内，去除位于像素界定层的开口区域内的阳极上的无机绝缘层。通过在形成阳极后，形成无机绝缘层，在无机绝缘层上形成像素界定层，利用像素界定层作为掩膜，去除位于像素界定层的开口区域内的阳极上的无机绝缘层，在去除无机绝缘层的同时，使得像素界定层形成过程中在无机绝缘层上产生的颗粒物，随着无机绝缘层一起被去除掉，减少阳极上的颗粒物数量，从而提高显示基板的良率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种显示基板及其制作方法、显示面板及显示装置。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode，有机电致发光器件)具有主动发光、高亮度、高对比度、超薄、低功耗、可柔性化以及工作温度范围宽等诸多优点，已成为极具竞争力和发展前景的下一代显示技术。

在制作完成OLED显示面板后，通常需要对OLED显示面板进行测试及信赖性评价，但是在测试及信赖性评价的过程中，发现OLED显示面板中会有大量的黑点产生，且随着测试时间的增长，黑点有明显扩大的迹象。

通过SEM(Scanning Electron Microscope，扫描电子显微镜)和FIB(Focused IonBeam，聚焦离子束)等测试分析得知，其原因主要是在阳极上制作完成PDL(PixelDefinition Layer，像素界定层)后，会在阳极上存在较多数量的particle(颗粒物)，水汽会从颗粒物所在位置处进入发光层，使得OLED器件失效，即产生黑点，且随着时间的延长，入侵的水汽数量增加，黑点的数量也会持续增加，导致良率降低。

发明内容

本发明提供一种显示基板及其制作方法、显示面板及显示装置，以解决现有的阳极上存在的颗粒物数量较多，导致良率降低的问题。

为了解决上述问题，本发明公开了一种显示基板的制作方法，包括：

在衬底上通过构图工艺形成阳极；

形成无机绝缘层，所述无机绝缘层覆盖所述阳极；

在所述无机绝缘层上通过构图工艺形成像素界定层，所述像素界定层的开口区域在所述阳极上的正投影位于所述阳极所在的区域内；

去除位于所述像素界定层的开口区域内的所述阳极上的无机绝缘层。

优选地，采用湿法刻蚀工艺去除位于所述像素界定层的开口区域内的所述阳极上的无机绝缘层。

优选地，所述无机绝缘层采用等离子体增强化学气相沉积工艺形成。

优选地，所述制作方法还包括：

在所述像素界定层的开口区域内的所述阳极上依次形成发光层和阴极。

为了解决上述问题，本发明还公开了一种显示基板，包括：

衬底；

形成在所述衬底上的阳极；

形成在所述阳极上的无机绝缘层；

形成在所述无机绝缘层上的像素界定层；

其中，所述像素界定层的开口区域在所述阳极上的正投影位于所述阳极所在的区域内，且所述像素界定层的开口区域在所述阳极上的正投影与所述无机绝缘层在所述阳极上的正投影不交叠。

优选地，所述无机绝缘层的材料为氧化铝、氮化硅或氧化硅。

优选地，所述无机绝缘层的厚度为至

优选地，所述显示基板还包括：