[发明专利]用于显示面板的柔性基板及其制作方法有效
申请号: | 201811026164.6 | 申请日: | 2018-09-04 |
公开(公告)号: | CN109244238B | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 张福阳 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 显示 面板 柔性 及其 制作方法 | ||
本发明提供一种用于显示面板的柔性基板。所述柔性基板包括:一复合材料薄膜,所述复合材料薄膜包括SiO2纳米管/聚合物基体,所述聚合物基体为聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚芳酯、或其任意组合;其中,所述SiO2纳米管在所述复合材料薄膜中的浓度在x轴方向上呈梯度变化,所述x轴方向为垂直于所述复合材料薄膜的表面的方向。
【技术领域】
本发明涉及显示面板的技术领域,特别涉及一种用于显示面板的柔性基板及其制作方法。
【背景技术】
随着显示面板的显示技术的发展,对用于显示面板的柔性基板的要求也越来越严格。和玻璃基板相比,聚合物基板具有轻质、柔软的特点,这符合现在柔性基板的发展趋势而自然受到了广泛的应用。但是,由于聚合物基板的一些材料特性,使得聚合物基板用在显示面板的发展仍遇到极大困难。尤其,为了能够替代传统玻璃基板,制造业者对于基板的光学透明性、机械性能、水氧阻隔性以及在高温制程下的稳定性等方面都提出了更高的要求。
因此,有必要提供一种用于显示面板的柔性基板及其制作方法,以解决现有技术所存在的问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种用于显示面板的柔性基板及其制作方法,以解决现有技术中基板的光学透明性、机械性能、水氧阻隔性、高温稳定性及表面平整性不佳的技术问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种用于显示面板的柔性基板,其特征在于,包括:
一复合材料薄膜,所述复合材料薄膜包括SiO2纳米管/聚合物基体,所述聚合物基体为聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚芳酯、或其任意组合;
其中,所述SiO2纳米管在所述复合材料薄膜中的浓度在x轴方向上呈梯度变化,所述x轴方向为垂直于所述复合材料薄膜的表面的方向。
根据本发明一优选实施例,所述柔性基板具有两个复合材料薄膜,所述柔性基板还包括一水氧阻隔层,所述两个复合材料薄膜分别设置在所述水氧阻隔层的两相对表面上。
根据本发明一优选实施例,所述水氧阻隔层的材质为SiO2、非晶硅、SiNx、或其任意组合。
根据本发明一优选实施例,所述复合材料薄膜的厚度为5至20μm,所述水氧阻隔层的厚度为300至1000nm。
根据本发明一优选实施例,所述复合材料薄膜具有二至五层的复合材料子薄膜,各个复合材料子薄膜中的SiO2纳米管的浓度不相同,使得所述SiO2纳米管在所述复合材料薄膜中的浓度在x轴方向上随着x的增大而逐渐降低且直至为0,而呈梯度变化。
本发明还提供一种制作用于显示面板的柔性基板的方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一底板;及
形成一第一复合材料薄膜于所述底板上,所述第一复合材料薄膜包括SiO2纳米管/聚合物基体,所述聚合物基体为聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚芳酯、或其任意组合;
其中,所述SiO2纳米管在述第一复合材料薄膜中的浓度在x轴方向上随着x的增大而逐渐降低且直至为0,所述x轴方向为垂直于所述底板的表面的方向。
根据本发明一优选实施例,所述方法还包括:
形成一水氧阻隔层于所述第一复合材料薄膜上;
形成一第二复合材料薄膜于所述水氧阻隔层上,所述第二复合材料薄膜包括SiO2纳米管/聚合物基体,所述聚合物基体为聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚芳酯、或其任意组合;及
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