[发明专利]用于显示面板的柔性基板及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201811026164.6 申请日: 2018-09-04
公开(公告)号: CN109244238B 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 张福阳 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L27/32
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 用于 显示 面板 柔性 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种用于显示面板的柔性基板,其特征在于,包括:

一复合材料薄膜,具有二至五层的复合材料子薄膜,所述复合材料薄膜包括SiO2纳米管/聚合物基体,所述聚合物基体为聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚芳酯、或其任意组合;

其中,各个复合材料子薄膜中的SiO2纳米管的浓度不相同,且所述SiO2纳米管在所述复合材料薄膜中的浓度在x轴方向上呈梯度变化,所述x轴方向为垂直于所述复合材料薄膜的表面的方向。

2.根据权利要求1所述的用于显示面板的柔性基板,其特征在于,所述柔性基板具有两个复合材料薄膜,所述柔性基板还包括一水氧阻隔层,所述两个复合材料薄膜分别设置在所述水氧阻隔层的两相对表面上。

3.根据权利要求2所述的用于显示面板的柔性基板,其特征在于,所述水氧阻隔层的材质为SiO2、非晶硅、SiNx、或其任意组合。

4.根据权利要求2所述的用于显示面板的柔性基板,其特征在于,所述复合材料薄膜的厚度为5至20μm,所述水氧阻隔层的厚度为300至1000nm。

5.根据权利要求2所述的用于显示面板的柔性基板,其特征在于,所述两个复合材料薄膜各自具有二至五层的复合材料子薄膜,且所述两个复合材料薄膜中的各个复合材料子薄膜中的SiO2纳米管的浓度不相同,使得所述SiO2纳米管在所述复合材料薄膜中的浓度在x轴方向上随着x的增大而逐渐降低且直至为0,而呈梯度变化。

6.一种制作用于显示面板的柔性基板的方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供一底板;及

涂覆二至五层复合材料液体且将复合材料液体固化,形成具有二至五层的复合材料子薄膜的一第一复合材料薄膜于所述底板上,所述第一复合材料薄膜包括SiO2纳米管/聚合物基体,所述聚合物基体为聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚芳酯、或其任意组合;

其中,所述各个复合材料液体中的SiO2纳米管的浓度不相同,且所述SiO2纳米管在所述第一复合材料薄膜中的浓度在x轴方向上随着x的增大而逐渐降低且直至为0,所述x轴方向为垂直于所述底板的表面的方向。

7.根据权利要求6所述的制作用于显示面板的柔性基板的方法,其特征在于,所述方法还包括:

形成一水氧阻隔层于所述第一复合材料薄膜上;

涂覆二至五层复合材料液体且将复合材料液体固化,形成具有二至五层的复合材料子薄膜的一第二复合材料薄膜于所述水氧阻隔层上,所述第二复合材料薄膜包括SiO2纳米管/聚合物基体,所述聚合物基体为聚酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚苯硫醚、聚芳酯、或其任意组合;及

其中,所述各个复合材料液体中的SiO2纳米管的浓度不相同,且所述SiO2纳米管在所述第二复合材料薄膜中的浓度在x轴方向上呈梯度变化,所述x轴方向为垂直于所述底板的表面的方向。

8.根据权利要求7所述的制作用于显示面板的柔性基板的方法,其特征在于,

所述水氧阻隔层的材质为SiO2、非晶硅、SiNx、或其任意组合。

9.根据权利要求7所述的制作用于显示面板的柔性基板的方法,其特征在于,所述第一与第二复合材料薄膜的厚度为5至20μm,所述水氧阻隔层的厚度为300至1000nm。

10.根据权利要求7所述的制作用于显示面板的柔性基板的方法,其特征在于,

所述SiO2纳米管在所述第一与第二复合材料薄膜中的所述各个复合材料液体中的浓度的最大值为5vol.%。

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