[发明专利]流体控制组件及其使用方法有效
申请号: | 201811021011.2 | 申请日: | 2018-09-03 |
公开(公告)号: | CN110873191B | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 谢文杰 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | F16K1/22 | 分类号: | F16K1/22;F16K1/42;F16K27/02;H01L21/67 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李玉锁;章侃铱 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流体 控制 组件 及其 使用方法 | ||
1.一种流体控制元件,包括:
一第一固定座;
一第二固定座;以及
一阀座,设置于该第一固定座与该第二固定座之间;
一阀体,设置于该阀座内并配置用以改变通过该阀座的气体的流量;
其中,该第一固定座包括一横向限位件,该横向限位件与该阀座沿一横轴方向排列且抵靠该阀座;
其中,该阀座可移动于垂直该横轴方向的一纵轴方向,且该横向限位件限制该阀座在该横轴方向上的位移。
2.如权利要求1所述的流体控制元件,其中该阀座包括一横向限位平面,该横向限位平面在该横轴方向上直接接触该横向限位件。
3.如权利要求2所述的流体控制元件,其中该阀座还包括一轴向限位平面,该轴向限位平面位于该横向限位平面的一侧,并直接接触该横向限位件的一端面;
其中,该轴向限位平面限制该阀座在一长轴方向上的位移,该长轴方向垂直该横轴方向与该纵轴方向。
4.如权利要求2所述的流体控制元件,其中该第一固定座包括一轴向限位件,该轴向限位件连结该横向限位件面向该横向限位平面的一侧;并且
该阀座包括一滑槽,该滑槽形成于该横向限位平面之上,并沿该纵轴方向延伸;
其中,该轴向限位件设置于该滑槽内,且该滑槽限制该阀座在一长轴方向上的位移,该长轴方向垂直该横轴方向与该纵轴方向。
5.如权利要求2所述的流体控制元件,其中该横向限位平面相对该横向限位件倾斜。
6.如权利要求1所述的流体控制元件,其中该第一固定座与该第二固定座至少其中一者包括一纵向限位件,该纵向限位件与该阀座沿该纵轴方向排列且抵靠该阀座,以限制该阀座在该纵轴方向上的位移。
7.如权利要求1所述的流体控制元件,还包括:
一锁附螺栓;
一抵靠螺栓;以及
一壳体,连结该阀座并覆盖该第一固定座或该第二固定座的一外表面,其中该壳体被一外锁附螺孔与一虚设螺孔所贯穿,并且一内锁附螺孔对齐该外锁附螺孔并形成于该外表面;
当该阀座固定在该第一固定座与该第二固定座之间时,该锁附螺栓设置于该外锁附螺孔及该内锁附螺孔内;并且
当该阀座自该第一固定座与该第二固定座分离时,该锁附螺栓自该内锁附螺孔分离,且该抵靠螺栓设置于该虚设螺孔中,并抵靠该外表面。
8.一种使用流体控制元件的方法,包括:
固定一第一固定座于一上游气体管道;
固定一第二固定座于一下游气体管道;以及
移动一阀座进入位于该第一固定座与该第二固定座之间的一固定位置;
其中,该第一固定座包括一横向限位件,该横向限位件与该阀座沿一横轴方向排列且抵靠该阀座,在该阀座移动进入位于该第一固定座与该第二固定座之间的该固定位置的过程中,该横向限位件限制该阀座在该横轴方向上的位移。
9.如权利要求8项所述使用流体控制元件的方法,其中该阀座包括一横向限位平面,该横向限位平面在该横轴方向上直接接触该横向限位件且相对于该横向限位件倾斜;
其中,在该阀座移动进入位于该第一固定座与该第二固定座之间的该固定位置的过程中,逐渐增加该横向限位件与该横向限位平面间的阻力。
10.如权利要求8项所述使用流体控制元件的方法,还包括:
在一连结该阀座的一虚设螺孔中设置一抵靠螺栓,该虚设螺孔面向该第一固定座或该第二固定座的一外表面;以及
旋转该抵靠螺栓,使该抵靠螺栓抵靠该第一固定座或该第二固定座的该外表面,并推动该阀座离开位于该第一固定座与该第二固定座之间的该固定位置。
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