[发明专利]OLED显示面板及其制作方法在审
| 申请号: | 201811015567.0 | 申请日: | 2018-08-31 |
| 公开(公告)号: | CN109244111A | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
| 发明(设计)人: | 张明;杨杰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/78;H01L21/77 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 紫外反射层 反射层 基板 薄膜晶体管阵列 发光器件 激光 薄膜晶体管 层叠设置 刚性基板 结构产生 封装层 折射率 制程 反射 制作 损伤 剥离 | ||
本发明提供了一种OLED显示面板及其制作方法,所述OLED显示面板包括:基板;设置在所述基板上的紫外反射层;设置在所述紫外反射层上的薄膜晶体管阵列;设置在所述薄膜晶体管上的发光器件;设置在所述发光器件上的封装层;其中,所述紫外反射层包括至少一对层叠设置的第一反射层和第二反射层,所述第一反射层和所述第二反射层的折射率不同。本发明通过在基板与薄膜晶体管阵列之间设置用于反射多余激光的紫外反射层,以在刚性基板剥离制程中,避免激光对OLED显示面板的结构产生损伤的问题。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,具体涉及一种OLED显示面板及其制作方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)由于具有自发光、高对比、广视角、低功耗、可弯折等优点受到了市场的喜爱,柔性OLED面板也因其具有可挠曲、轻薄的特点逐渐占领市场。
目前柔性OLED显示面板多采用在玻璃基板上涂覆一层柔性材料,所述柔性材料包括聚酰亚胺(PI),在完成薄膜晶体管、发光器件、封装层等制程后,采用激光剥离技术(laser lift off,LLO)对PI进行烧灼后剥离玻璃基板,从而得到OLED显示面板。由于PI材料对紫外光的吸收率高达80%,因此,目前ILO所采用的为紫外激光剥离设备。
对于OLED显示面板的制作,除了对PI的涂覆具有高要求,对于激光参数的进度同样有较高的要求;偏低能量的激光会导致刚性基板的无法成功的剥离;而偏高能量的激光则会对膜层产生影响,例如胶材黏附力的变化,薄膜晶体管阵列的缺陷,进而对OLED显示面板的柔性、可靠性带来问题,因此在刚性基板的剥离过程中,需要严格的控制LIO过程中的激光能量。因此,目前提出了一种OLED显示面板及其制作方法以解决上述问题。
发明内容
本发明提供了一种OLED显示及其制作方法,以解决现有OLED显示面板中在进行刚性基板剥离时,激光对所述OLED显示面板的结构产生损伤的问题。
根据本发明的一个方面,提供了一种OLED显示面板,包括:
基板;
设置在所述基板上的紫外反射层;
设置在所述紫外反射层上的薄膜晶体管阵列;
设置在所述薄膜晶体管上的发光器件;
设置在所述发光器件上的封装层;
其中,所述紫外反射层包括至少一对层叠设置的第一反射层和第二反射层,所述第一反射层和所述第二反射层的折射率不同。
根据本发明一优选实施例,还包括设置在所述第一反射层与所述第二反射层之间的补充基板,所述补充基板与所述基板的材料相同。
根据本发明一优选实施例,所述紫外反射层与所述薄膜晶体管之间设置有所述补充基板。
根据本发明一优选实施例,所述第一反射层包括氧化硅和氧化铝中的其中一者,所述第二反射层包括氧化钛、氧化锆和氧化锌中的其中一者。
根据本发明一优选实施例,所述第一反射层与所述第二反射层满足如下公式:
λ=2(n1d1+n2d2),其中,所述λ为激光波长,所述n1为所述第一反射层的材料折射系数,所述n2为所述第二反射层的材料折射系数,所述d1为所述第一反射层的膜层厚度,所述d2为所述第二反射层的膜层厚度。
根据本发明一优选实施例,所述激光波长大于280纳米并小于3230纳米,所述第一反射层的材料折射系数大于1.4并小于1.6,所述第二反射层的材料折射系数大于1.9并小于2.1,所述第一反射层的膜层厚度位于1纳米至100纳米之间。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司,未经武汉华星光电半导体显示技术有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811015567.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:显示面板及其制造方法
- 下一篇:一种显示面板以及显示装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的





