[发明专利]光刻设备、抗气流扰动的方法及装置

权利要求书

1.一种抗气流扰动装置，其特征在于，包括抗气流扰动组件，设置在一光栅尺测量组件上并用于对所述光栅尺测量组件执行抗气流扰动操作，以及所述光栅尺测量组件和一运动台相对设置，所述光栅尺测量组件用于测量所述运动台的运动参数，所述抗气流扰动组件位于所述光栅尺测量组件远离所述运动台的一侧，所述抗气流扰动操作包括增加或减少所述抗气流扰动组件在面对所述运动台的方向上的长度；

其中，当所述运动台相对所述光栅尺测量组件运动时，所述光栅尺测量组件受到的气流压力发生变化，所述抗气流扰动组件执行所述抗气流扰动操作，以对所述光栅尺测量组件施加作用力，用于抵抗所述光栅尺测量组件由于受到的气流压力的变化而产生的位置偏移。

2.如权利要求1所述的抗气流扰动装置，其特征在于，所述抗气流扰动组件包括主动阻尼器，所述主动阻尼器在执行所述抗气流扰动操作时，所述主动阻尼器在面对所述运动台的方向上的长度增加或减少，以抵制所述光栅尺测量组件由于受到的气流压力的变化而产生位置偏移。

3.如权利要求1所述的抗气流扰动装置，其特征在于，还包括：同步控制器，所述同步控制器连接所述运动台和所述抗气流扰动组件，用于当所述运动台运动时，同步指示所述抗气流扰动组件执行所述抗气流扰动操作。

4.如权利要求3所述的抗气流扰动装置，其特征在于，所述抗气流扰动装置还包括抗气流扰动控制器，所述抗气流扰动控制器用于指示所述抗气流扰动组件执行抗气流扰动操作；以及，所述运动台与一运动台控制器连接，以利用所述运动台控制器指示所述运动台运动；

其中，所述同步控制器分别与所述抗气流扰动控制器和所述运动台控制器连接，所述同步控制器用于向所述抗气流扰动控制器和所述运动台控制器发送同步控制时序信息，以便所述运动台控制器根据所述同步控制时序信息指示所述运动台运动的同时，所述抗气流扰动控制器根据所述同步控制时序信息同步指示所述抗气流扰动组件执行抗气流扰动操作。

5.如权利要求4所述的抗气流扰动装置，其特征在于，所述抗气流扰动装置还包括整机控制器，所述整机控制器与所述抗气流扰动控制器、所述运动台控制器和所述光栅尺测量组件均连接；

所述整机控制器用于接收所述光栅尺测量组件发送的所述运动参数，并将所述运动参数分别发送至所述抗气流扰动控制器和所述运动台控制器，以使所述运动台控制器基于所述运动参数指示所述运动台运动，以及所述抗气流扰动控制器基于所述运动参数指示所述抗气流扰动组件执行抗气流扰动操作。

6.如权利要求1所述的抗气流扰动装置，其特征在于，所述光栅尺测量组件包括平面光栅和光栅安装板，并且所述平面光栅面对所述运动台，所述光栅安装板位于所述平面光栅背离所述运动台的一侧。

7.如权利要求6所述的抗气流扰动装置，其特征在于，所述光栅尺测量组件安装在一主基板上，所述主基板和所述光栅尺测量组件中的所述光栅安装板之间通过柔性连接块连接，所述柔性连接块用于缓冲主基板和所述光栅尺测量组件之间的相互作用力，所述抗气流扰动组件设置在所述光栅安装版和所述主基板之间。

8.一种光刻设备，其特征在于，包括：光栅尺测量组件、运动台以及如权利要求1～7任一项所述的抗气流扰动装置；

其中，所述光栅尺测量组件与所述运动台相对设置，用于测量所述运动台的运动参数，所述抗气流扰动装置包括抗气流扰动组件，并且所述抗气流扰动组件设置在所述光栅尺测量组件远离所述运动台的一侧。