[发明专利]一种用于芯片计数的图像处理方法

权利要求书

1.一种用于芯片计数的图像处理方法，其特征在于，包括：

提取X光拍摄的半导体芯片图像，得到原图像；

将所述原图像进行增强对比度处理，根据固定阈值在所述原图像中进行全局阈值分割，获得进行全局阈值分割后的图像；

将所述进行全局阈值分割后的图像进行连通域联合，获得连通域联合后的图像，并对所述连通域联合后的图像进行预处理，获得预处理后的图像；

根据第一阈值在所述预处理后的图像中进行全局阈值分割，获得第一图像，并从所述第一图像中获取所述原图像的背景区域；其中，所述第一阈值是由所述预处理后的图像经过第一自动阈值处理后获得；

根据第二阈值在所述背景区域中进行全局阈值分割，获得第二图像，并从所述第二图像中获取所述原图像的提取区域；其中，所述第二阈值是由所述背景区域经过第二自动阈值处理后获得；

根据所述提取区域中各子区域的面积，统计所述提取区域中所有所述半导体芯片的个数；具体为：

统计所述提取区域在11-8000像素点个数范围内区域的个数n；

计算所述11-8000像素点个数范围内每个子区域的面积，并统计面积在0-400像素点个数内对应区域个数，并将面积最大的区域作为所述提取区域的平均面积s；

调整每个子区域所在面积与所述平均面积s的倍数关系，获取所述半导体芯片的个数；具体为：

统计子区域面积在0-0.61s的区域个数，记为n1；

统计子区域面积在1.7s-3.1s的区域个数为n2；

统计子区域面积在3.1s-4.2s的区域个数，并乘以2为n3；

统计子区域面积在4.2s-5.4s的区域个数，并乘以3为n4；

统计子区域面积在5.4s-6.5s的区域个数，并乘以4为n5；

将n+n2+n3+n4+n5-n1，得到所述半导体芯片的个数。

2.如权利要求1所述的用于芯片计数的图像处理方法，其特征在于，所述对连通域联合后的图像进行预处理，获得预处理后的图像，具体为：

根据区域的形状和面积特征，提取出所述连通域联合后的图像中面积在90000-9999999像素点个数的区域，获得第一区域；

依次对所述第一区域进行孔洞填充和形态学膨胀运算，获得待删除图像；

在所述原图像中删除所述待删除的图像，获得删除后的原图像；

将所述删除后的原图像进行灰度级开运算，获得所述预处理后的图像。

3.如权利要求2所述的用于芯片计数的图像处理方法，其特征在于，所述根据第一阈值在所述预处理后的图像中进行全局阈值分割，获得第一图像，并从所述第一图像中获取所述原图像的背景区域，具体为：

根据所述第一阈值，对所述删除后的原图像进行全局阈值分割，得到所述第一图像；

将所述第一图像进行连通域联合，获得连通域联合后的第一图像；

在所述连通域联合后的第一图像中获取每个区域的面积，并将面积最大区域的外接圆作为所述原图像的背景区域。

4.如权利要求3所述的用于芯片计数的图像处理方法，其特征在于，所述根据第二阈值在所述背景区域中进行全局阈值分割，获得第二图像，并从所述第二图像中获取所述原图像的提取区域，具体为：

对所述背景区域进行增强对比度处理，获得预处理后的背景区域；

根据所述第二阈值，对所述预处理后的背景区域进行全局阈值分割，获得所述第二图像；

将所述第二图像进行连通域联合，得到连通域联合后的第二图像；

根据区域形状和最大长度特征，在所述连通域联合后的第二图像中，删除区域边界长度在450-2000像素点个数的区域，获得所述原图像的提取区域。

5.如权利要求1至4任一项所述的用于芯片计数的图像处理方法，其特征在于，所述第一自动阈值处理，具体为：

将所述预处理后的图像进行灰度值统计，并将统计出的数据函数化，获得第一函数；

将所述第一函数进行高斯平滑处理，获取所述第一函数的第一Y值；

在所述第一Y值的所有波峰中，提取最后一个波峰与倒数第二个波峰之间的极小值A；

将所述极小值A和0作为所述第一阈值。