[发明专利]光学测试方法及光学测试系统

说明书

本公开提供一种光学测试方法以及一种光学测试系统，该光学测试方法包括发射光通过设置在一固持器上的一被测光学元件的两个基板之间的一间隙，以产生多个光束。所述光学测试方法还包括驱动固持器及其上的被测光学元件移动到N个位置。所述光学测试方法还包括接收来自在所述N个位置的被测光学元件的所述光束中的一者，以产生N个第一强度信号。此外，所述光学测试方法包括根据所述N个第一强度信号和参考数据来确定被测光学元件的间隙的大小。

技术领域

本发明实施例关于一种半导体技术，特别涉及一种用于确定光学元件的两个基板之间的间隙的大小的光学测试方法及系统。

背景技术

三维(three-dimensional，3D)光学成像系统能够提供距离测量和捕捉区域内的物体的深度影像(depth image)的功能。这种系统目前可以用于游戏和多媒体应用中，例如，提供人类辨识和手势识别，以及各种其他应用中，例如，半导体和其他商品的检查、电脑辅助设计验证、机器人视觉以及地理调查。3D光学成像系统通常包括光学图案投影系统(optical pattern projection system)，其包括用于照射物体的光源。3D光学成像系统还包括光接收器，例如3D相机，其用于接收从物体反射的光并从反射光来形成物体的3D影像。

在某些应用中，光学图案投影系统中使用了绕射光学元件(diffractive opticalelement)来产生所需的投影图案。绕射光学元件的构造(configuration)将与绕射光学元件和光学图案投影系统的光学特性有关。虽然现有用于检查绕射光学元件的测试系统和测试方法已经足以应付其需求，然而仍未全面满足。

发明内容

本公开一些实施例提供一种光学测试方法。所述光学测试方法包括发射光通过设置在一固持器上的一被测光学元件的两个基板之间的一间隙，以产生多个光束。所述光学测试方法还包括驱动固持器及其上的被测光学元件移动到N个位置，其中N是大于2的自然数。所述光学测试方法还包括接收来自在所述N个位置的被测光学元件的所述光束中的一者，以产生N个第一强度信号。此外，所述光学测试方法包括根据所述N个第一强度信号和参考数据来确定被测光学元件的间隙的大小。

本公开一些实施例提供一种光学测试方法。所述光学测试方法包括收集对应于多个光学元件模型的多组样本强度信号来做为参考数据，其中所述光学元件模型在各光学元件模型的两个基板之间分别具有一间隙，且所述光学元件模型的间隙的大小不同，以及各组样本强度信号包括对应于所述光学元件模型中的一者在N个位置的N个第二强度信号，其中N是大于2的自然数。所述光学测试方法还包括测量对应于一被测光学元件在所述N个位置的N个第一强度信号。此外，所述光学测试方法包括根据所述N个第一强度信号和所述参考数据来确定被测光学元件的两个基板之间的一间隙的大小。

本公开一些实施例提供一种光学测试系统。所述光学测试系统包括一固持器、一光源、一驱动机构、一感测器以及一控制器。固持器配置用以固持一光学元件。光源配置用以(is configured to)发射光通过光学元件，以产生多个光束。驱动机构配置用以驱动固持器及其上的光学元件移动到N个位置。感测器配置用以接收来自在所述N个位置的光学元件的所述光束中的一者，以产生N个第一强度信号。控制器配置用以根据所述N个第一强度信号和参考数据确定光学元件的两个基板之间的一间隙的大小。

附图说明

图1显示根据一些实施例的一光学图案投影系统的示意图。

图2显示根据一些实施例的图1中的绕射光学元件的剖视示意图。

图3显示根据一些实施例的用于确定一光学元件的两个基板之间的间隙的大小的一光学测试系统的示意图。

图4显示根据一些实施例的用于确定一光学元件的两个基板之间的间隙的大小的一光学测试方法的简化流程图。

图5显示根据一些实施例的在测试期间固持器(及其上的光学元件模型)被移动到多个位置的示意图。