[发明专利]光学测试方法及光学测试系统

权利要求书

1.一种光学测试方法，包括：

发射光通过设置在一固持器上的一被测光学元件的两个基板之间的一间隙，以产生多个光束；

驱动该固持器及其上的该被测光学元件移动到N个位置，其中，N是大于2的自然数；

接收来自在该N个位置的该被测光学元件的所述光束中的一者，以产生N个第一强度信号；以及

根据该N个第一强度信号和参考数据确定该被测光学元件的该间隙的大小。

2.如权利要求1所述的光学测试方法，其中，该参考数据包括对应于多个光学元件模型的多个组样本强度信号，所述光学元件模型在各该光学元件模型的两个基板之间分别具有一间隙，且所述光学元件模型的所述间隙的大小不同，以及各该组样本强度信号包括对应于所述光学元件模型中的一者在该N个位置的N个第二强度信号。

3.如权利要求2所述的光学测试方法，其中，确定该被测光学元件的该间隙的大小的操作还包括：

计算该N个第一强度信号与各该组样本强度信号中的该N个第二强度信号之间的强度差；以及

当该N个第一强度信号与对应于所述光学元件模型中的一者的该N个第二强度信号之间的所述强度差的和为最小时，确定该被测光学元件的该间隙的大小与所述光学元件模型中的该者的该间隙的大小是相同的。

4.如权利要求1所述的光学测试方法，其中，该固持器及其上的该被测光学元件由多个驱动马达驱动。

5.如权利要求1所述的光学测试方法，其中，该被测光学元件是一绕射光学元件。

6.如权利要求5所述的光学测试方法，其中，用于产生该第一强度信号的接收的该光束是来自该绕射光学元件的一正或负绕射光束。

7.如权利要求5所述的光学测试方法，其中，该绕射光学元件包括彼此堆叠的一第一基板和一第二基板，至少一绕射光栅结构形成在该第一和第二基板的相对表面中的至少一者上，以及该间隙形成在该第一和第二基板的所述相对表面之间。

8.一种光学测试方法，包括：

收集对应于多个光学元件模型的多个组样本强度信号来做为参考数据，其中，所述光学元件模型在各该光学元件模型的两个基板之间分别具有一间隙，且所述光学元件模型的所述间隙的大小不同，以及各该组样本强度信号包括对应于所述光学元件模型中的一者在N个位置的N个第二强度信号，其中，N是大于2的自然数；

测量对应于一被测光学元件在该N个位置的N个第一强度信号；以及

根据该N个第一强度信号和该参考数据确定该被测光学元件的两个基板之间的一间隙的大小。

9.如权利要求8所述的光学测试方法，其中，确定该被测光学元件的该两个基板之间的该间隙的大小的操作还包括：

计算该N个第一强度信号与各该组样本强度信号中的该N个第二强度信号之间的强度差；以及

当该N个第一强度信号与对应于所述光学元件模型中的一者的该N个第二强度信号之间的所述强度差的和为最小时，确定该被测光学元件的该两个基板之间的该间隙的大小与所述光学元件模型中的该者的该两个基板之间的该间隙的大小是相同的。

10.如权利要求8所述的光学测试方法，还包括：在该测量期间将固持该被测光学元件的一固持器沿一第一方向移动到该N个位置，其中，该第一方向垂直于一感测器的一光接收面。

11.如权利要求8所述的光学测试方法，其中，该N个位置中的任两个相邻位置之间的距离是相同的。