[发明专利]微球表面缺陷检测翻转辅助装置

说明书

本发明公开了一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，包括测试吸嘴、第一精密位移台、x方向位移台、y方向位移台、第二精密旋转台、第一连接板、辅助吸嘴和翻转辅助机构，所述翻转辅助机构包括三个位移台，其中两个位移台组合放置在底部位置，控制辅助吸嘴水平方向二维移动，平移台上部垂直放置一个位移台，用于控制辅助吸嘴纵向移动，所述辅助吸嘴固定在翻转辅助机构上方，可吸附微球进行移动，测试吸嘴在微球右侧，用来吸附微球进行测量。本发明可实现微球表面缺陷检测时对微球进行翻转。

技术领域

本发明属于表面缺陷检测领域，具体涉及一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置。

背景技术

作为最常用的元器件形态之一的微小球面，在众多重要领域有着诸多应用，这些应用都对微小球面的表面面形质量有着较高的要求，因而对于微小球面的表面缺陷的检测就显得尤为重要。

无论是美国的劳伦斯利弗莫尔国家实验室的PSDI技术，还是中国专利ZL201410663749.4，都无法完成整个微球表面的测量，因此微球的测试翻转机构就显得尤为重要。二者方案中的测试机械翻转机构都带有一定的不可避免的机械误差，从而使检测结果不理想。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，解决现有微小球面表面缺陷检测微球控制系统的机械误差使得测量精度降低的问题。

实现本发明目的的技术解决方案为：一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，包括底座、控制电机、第一精密旋转台、第一连接板、翻转辅助机构、辅助吸嘴、y方向位移台、x方向位移台、第二连接板、第二精密旋转台和测试吸嘴；控制电机固定在底座上，第一精密旋转台固定在控制电机上，并与控制电机的输出轴固连，翻转辅助机构固定在第一精密旋转台顶面，第一连接板一端设有圆孔，所述圆孔穿过翻转辅助机构并与第一精密旋转台固连，辅助吸嘴固定在翻转辅助机构上，y方向位移台固定在第一连接板的另一端顶面，x方向位移台固定在y方向位移台上，第二连接板为L形，第二连接板的水平面固定在x方向位移台上，竖直面内壁固定有第二精密旋转台，测试吸嘴固定在第二精密旋转台上，待测微球设置在测试吸嘴上，且辅助吸嘴位于待测微球的正下方。

所述翻转辅助机构包括x轴位移台、y轴位移台、第三连接板、z轴位移台和辅助吸嘴底座，y轴位移台固定在x轴位移台顶面，x轴位移台固定在第一精密旋转台顶面，第三连接板为L形，水平面固定在y轴位移台上，竖直面内壁固连z轴位移台，辅助吸嘴底座固定在z轴位移台上，辅助吸嘴底座顶面设有辅助吸嘴。

所述z轴位移台用于调节辅助吸嘴的上下高度。

所述辅助吸嘴和测试吸嘴的中轴线垂直。

本发明与现有技术相比，其显著优点在于：(1)采用旋转台、位移台相结合的五维调整方式，配合测试吸嘴和辅助吸嘴，简单有效的实现了微球表面缺陷检测过程中对微球的翻转测试。

(2)翻转过程易于操作，成本低，翻转效率、精度较高，减少了人工误差，解决了微小球面表面缺陷检测中对微球操作困难的问题。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是翻转辅助机构结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详细描述。