[发明专利]微球表面缺陷检测翻转辅助装置有效
| 申请号： | 201810993315.9 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN109277961B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李建欣;宗毅;段明亮;柏财勋;王宗伟;高党忠;孟婕 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;G01B21/20 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 缺陷 检测 翻转 辅助 装置 | ||
1.一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置，其特征在于：包括底座（1）、控制电机（2）、第一精密旋转台（3）、第一连接板（4）、翻转辅助机构（5）、辅助吸嘴（6）、y方向位移台（7）、x方向位移台 （10）、第二连接板（11）、第二精密旋转台（12）和测试吸嘴（13）；控制电机（2）固定在底座（1）上，第一精密旋转台（3）固定在控制电机（2）上，并与控制电机（2）的输出轴固连，翻转辅助机构（5）固定在第一精密旋转台（3）顶面，第一连接板（4）一端设有圆孔，所述圆孔穿过翻转辅助机构（5）并与第一精密旋转台（3）固连，辅助吸嘴（6）固定在翻转辅助机构（5）上，y方向位移台（7）固定在第一连接板（4）的另一端顶面，x方向位移台 （10）固定在y方向位移台（7）上，第二连接板（11）为L形，第二连接板（11）的水平面固定在x方向位移台 （10）上，竖直面内壁固定有第二精密旋转台（12），测试吸嘴（13）固定在第二精密旋转台（12）上，待测微球（14）设置在测试吸嘴（13）上，且辅助吸嘴（6）位于待测微球（14）的正下方。
2.根据权利要求1所述的微球表面缺陷检测翻转辅助装置，其特征在于：所述翻转辅助机构（5）包括x轴位移台（5-1）、y轴位移台（5-2）、第三连接板（5-3）、z轴位移台（5-4）和辅助吸嘴底座（5-5），y轴位移台（5-2）固定在x轴位移台（5-1）顶面，x轴位移台（5-1）固定在第一精密旋转台（3）顶面，第三连接板（5-3）为L形，第三连接板（5-3）的水平面固定在y轴位移台（5-2）上，第三连接板（5-3）的竖直面内壁固连z轴位移台（5-4），辅助吸嘴底座（5-5）固定在z轴位移台（5-4）上，辅助吸嘴底座（5-5）顶面设有辅助吸嘴（6）。
3.根据权利要求2所述微球表面缺陷检测翻转辅助装置，其特征在于：所述z轴位移台（5-4）用于调节辅助吸嘴（6）的上下高度。
4.根据权利要求1所述微球表面缺陷检测翻转辅助装置，其特征在于：所述辅助吸嘴（6）和测试吸嘴（13）的中轴线垂直。
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