[发明专利]一种版图测试图形提取方法、装置、设备及介质有效
申请号: | 201810988348.4 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN109360185B | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 盖天洋;韦亚一;粟雅娟;陈颖 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06T7/10;G06T7/62;G06F30/392;G06F30/398 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 版图 测试 图形 提取 方法 装置 设备 介质 | ||
1.一种版图测试图形提取方法,其特征在于,包括:
在目标版图上搜索出多个满足预设布图规则的目标区域,在每个所述目标区域处均设置采样点;
根据所述采样点,对所述目标版图进行切片,提取出多个切片图形,每个所述切片图形中均包括有至少一个所述采样点;
将每个所述切片图形均划分为网格状,并根据划分的网格确定出每个所述切片图形的描述矩阵,所述描述矩阵能表征对应的所述切片图形的图形布局特征;
采用预设的单元特征图形组扫描每个所述切片图形的所述描述矩阵,确定出每个所述切片图形的特征向量,并根据所述特征向量从所述多个切片图形中提取出测试图形,其中,所述特征向量表征对应的切片图形与所述单元特征图形组的相关性;
所述满足预设布图规则的目标区域包括以下任一种或多种的组合:线端点到线端点的区域、线端点到线条的区域、线端点到拐点的区域、拐点到线条的区域、拐点到拐点的区域,线条重叠的区域、特定线宽的区域、特定间距的区域;
所述根据划分的网格确定出每个所述切片图形的描述矩阵,包括:根据划分的网格确定出每个所述切片图形的布尔矩阵、面积矩阵和距离矩阵,其中,所述布尔矩阵根据划分的各网格中的图形确定,表征对应的切片图形的图形形状;所述面积矩阵根据划分的各网格的面积确定;所述距离矩阵根据划分的各网格距所述切片图形中心的距离确定。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在目标版图上搜索出多个满足预设布图规则的目标区域,包括:
根据所述目标版图的关键尺寸和图形周期,确定出搜索尺寸;
以所述目标版图上,在所述搜索尺寸内,存在满足预设布图规则的图形的区域作为所述目标区域。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在每个所述目标区域处均设置采样点包括:
以满足预设布图规则的图形的中心作为所述采样点。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述采样点,对所述目标版图进行切片,提取出多个切片图形,包括:
以每个采样点作为中心,对所述目标版图进行切片,提取出多个切片图形,其中,所述每个切片图形的中心为所述采样点,边长为所述目标版图的图形周期的3倍。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述将每个所述切片图形均划分为网格状,包括:
以与每个所述切片图形中的多边形的各条边重合的线作为切线,将每个所述切片图形均划分为网格状。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述采用预设的单元特征图形组扫描每个所述切片图形的所述描述矩阵,确定出每个所述切片图形的特征向量,包括:
以所述单元特征图形组中的每张单元特征图形扫描每个所述切片图形的所述布尔矩阵,确定出每个所述切片图形相对所述每个单元特征图形的特征值;
根据每个所述切片图形相对所述每个单元特征图形的特征值,生成每个所述切片图形的特征向量。
7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述特征向量从所述多个切片图形中提取出测试图形之前,还包括:
对每个所述切片图形的特征向量进行归一化处理。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述特征向量从所述多个切片图形中提取出测试图形,包括:
根据每个所述切片图形的所述特征向量,对所述多个切片图形进行分组;
从分组后的每组切片图形中提取出代表切片图形,以确定出的所述代表切片图形作为所述测试图形。
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