[发明专利]一种氮气和氢气混合等离子体处理石墨粉末的方法有效
| 申请号： | 201810984965.7 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN109167062B | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 周海平;何苗;吴孟强;叶惺;张子栋 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01M4/583 | 分类号： | H01M4/583;H01M10/0525;C01B32/21 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮气 氢气 混合 等离子体 处理 石墨 粉末 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮气和氢气混合等离子体处理石墨粉末的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1、将石墨粉末置于等离子体反应室的样品台上，反应室抽真空至1×10-4～3.5×10-3Pa，然后将样品台加热至400～700℃；
步骤2、向反应室内通入氮气和氢气的混合气体，直至反应室内气体气压达到1Pa～2.5Pa；其中，氮气和氢气的流量比为1：(1～2)；
步骤3、开启射频电源，在射频电源反应功率为600W～1800W、射频电源频率为400KHz～13.56MHz的条件下，反应5～40min，反应完成后，取出样品，即可得到处理后的石墨粉末。
2.根据权利要求1所述的氮气和氢气混合等离子体处理石墨粉末的方法，其特征在于，步骤1中所述样品台的升温速率为20～25℃/min。
3.根据权利要求1所述的氮气和氢气混合等离子体处理石墨粉末的方法，其特征在于，步骤2中氮气的流量为15～25sccm。
4.权利要求1至3中任一项所述方法处理后的石墨粉末作为锂离子电池负极材料的应用。
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