[发明专利]一种基于支撑基板的一次压合埋容工艺有效
申请号: | 201810980506.1 | 申请日: | 2018-08-27 |
公开(公告)号: | CN108966516B | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 叶国俊;马毅;袁为群;宋建远;何为;孙保玉 | 申请(专利权)人: | 深圳崇达多层线路板有限公司 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06;H05K3/46 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 冯筠 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区沙井街道新桥横岗下工*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 支撑 一次 压合埋容 工艺 | ||
本发明公开了一种基于支撑基板的一次压合埋容工艺,包括以下步骤:在芯板的两表面铜层上贴膜,而后通过曝光、显影和蚀刻工序在芯板的上表面形成内层线路,然后退膜;在芯板的两表面上贴膜,而后通过曝光工序在芯板的下表面完成内层线路曝光;在芯板上表面的膜外侧贴支撑基板;而后通过显影工序在芯板的下表面上形成内层线路图形;而后通过蚀刻工序在芯板的下表面形成内层线路,然后退膜;去掉芯板上表面的支撑基板,在芯板的下表面上贴支撑基板,然后再依次去除芯板上的膜和支撑基板;芯板通过半固化片与外层铜箔压合,形成生产板。本发明方法借助支撑基板和膜的支撑力来防止介质层破损,且减少压合次数至一次,降低了成本和提高了生产效率。
技术领域
本发明涉及印制线路板制作技术领域,具体涉及一种基于支撑基板的一次压合埋容工艺。
背景技术
随着电子系统的集成度不断提高,PCB埋容工艺作为一种替代表面电容贴片的方法,可以节约PCBA日益紧张的表面空间,同时也比贴片电容可靠性更高,所以被广泛采用。
随着埋容芯板的单位面积容值增加,伴随着芯板介质层变薄,陶瓷粉料比例增高,导致芯板的介质层强度降低,可加工性容易出现问题。对于电容密度较高的埋容芯板(Cp1pF/inch2),在相同位置的两面图形都没有铜面支撑介质层的时候,过蚀刻喷淋容易造成介质层破损,导致蚀刻线被埋容材料碎片所污染,且介质层破损的板在后工序中涨缩行为容易发生异常造成板报废。
针对上述情况,业内有使用双次压合的工艺来克服介质层破损的问题,即在芯板上先做一面图形,另一面用整面曝光的干膜支撑过DES线,在做好线路的一面与外层铜箔压合后,再做芯板另一面的图形,然后在芯板的这一面与外层铜箔压合,这种做法可以保证第一次图形有整张铜面支撑,第二次图形有压合后的板材做支撑,保证介质层不被喷淋压力冲破,但是采用双次压合的方式成本高,流程冗长,生产效率低,且分别通过两次压合容易出现层偏的问题。
发明内容
本发明的目的在于为克服现有的技术缺陷,提供一种基于支撑基板的一次压合埋容工艺,该方法借助支撑基板和膜的支撑力来防止介质层破损,解决了介质层破损造成材料碎片污染生产线和板报废的问题,且在克服介质层破损问题的基础上,减少压合次数至一次,降低了成本和提高了生产效率。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种基于支撑基板的一次压合埋容工艺,包括以下步骤:
S1、在芯板的两表面铜层上贴膜,而后通过曝光、显影在芯板的上表面上形成内层线路图形,且曝光时芯板下表面的膜整面被曝光;
S2、而后通过蚀刻工序在芯板的上表面形成内层线路,然后退膜;
S3、在芯板的两表面上贴膜,而后通过曝光工序在芯板的下表面完成内层线路曝光,且芯板上表面的膜不进行曝光;
S4、在芯板上表面的膜外侧贴支撑基板,且支撑基板的尺寸与芯板的尺寸相同;而后通过显影工序在芯板的下表面上形成内层线路图形;
S5、而后通过蚀刻工序在芯板的下表面形成内层线路,然后退膜;
S6、去掉芯板上表面的支撑基板,在芯板的下表面上贴支撑基板,然后再依次去除芯板上表面上的膜和下表面上的支撑基板;
S7、芯板通过半固化片与外层铜箔压合,形成生产板。
优选地,步骤S1中具体包括以下步骤:
S11、在芯板的两表面铜层上贴干膜;
S12、在干膜的外侧贴保护膜;
S13、而后通过曝光工序在芯板的上表面完成内层线路曝光,且芯板下表面的干膜被整面曝光;
S14、去掉保护膜后,通过显影工序在芯板的上表面形成内层线路图形。
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