[发明专利]用于芯片的切割装置有效
| 申请号: | 201810969534.3 | 申请日: | 2018-08-23 | 
| 公开(公告)号: | CN109103131B | 公开(公告)日: | 2021-07-30 | 
| 发明(设计)人: | 黄晓波 | 申请(专利权)人: | 重庆市嘉凌新科技有限公司 | 
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 | 
| 代理公司: | 重庆强大凯创专利代理事务所(普通合伙) 50217 | 代理人: | 成艳 | 
| 地址: | 401326 重庆市九*** | 国省代码: | 重庆;50 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 芯片 切割 装置 | ||
1.用于芯片的切割装置,其特征在于:包括机架,机架上设置有切割台,切割台一侧设置有驱动机构,切割台一端设置有固定柱,固定柱一侧设置有曲柄,曲柄一端铰接在固定柱上,曲柄另一端铰接有连杆,连杆与所述驱动机构连接,连杆的自由端设置有横切刀,切割台上设置有横切槽,横切刀滑动连接在横切槽内,所述曲柄和连杆上均设置有若干竖切刀,曲柄和连杆均垂直所述竖切刀,切割台上设置有若干供所述竖切刀插入的竖切槽;所述驱动机构包括转轴,转轴上套设有转轮,转轴上套设有第一弹簧,第一弹簧与转轮相抵,转轮上设置有支杆,转轴端部连接有驱动杆,驱动杆间歇与支杆相抵,所述转轮上方设置有上半圆环,转轮下方设置有与上半圆环直径相同的下半圆板,上半圆环与下半圆环的一面对齐,上半圆环的厚度大于下半圆环的厚度,上半圆环与下半圆环连接,所述转轮上缠绕有皮带,所述连杆自由端连接有拉杆,拉杆与皮带连接,拉杆与转轮之间设置有限位板,拉杆与限位板之间连接有第二弹簧。
2.根据权利要求1所述的用于芯片的切割装置,其特征在于:所述切割台下方设置有气室,气室内竖直滑动设置有活塞,活塞连接有升降机构,切割台上设置有若干吸气孔,吸气孔与所述气室连通。
3.根据权利要求2所述的用于芯片的切割装置,其特征在于:所述升降机构包括与所述活塞连接的齿条,齿条一端位于气室外,齿条一侧设置有齿轮组,齿轮组中的小齿轮与齿条啮合,齿轮组中的大齿轮与所述转轮连接有传动件。
4.根据权利要求3所述的用于芯片的切割装置,其特征在于:所述切割台一侧设置有气缸。
5.根据权利要求4所述的用于芯片的切割装置,其特征在于:所述竖切刀均匀分布。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





