[发明专利]一种半导体结构在审
申请号: | 201810962135.4 | 申请日: | 2018-08-22 |
公开(公告)号: | CN109103181A | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 李志国 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵秀芹;王宝筠 |
地址: | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 半导体结构 接地线 电连接 焊垫 静电放电保护 静电放电路径 二极管 高速信号 寄生电容 静电放电 局部保护 连接结构 芯片版图 芯片成本 信号传输 堆叠 申请 | ||
1.一种半导体结构,其特征在于,包括:
堆叠的第一芯片和第二芯片;
所述第一芯片和第二芯片均包括器件和接地线,所述第一芯片的接地线与第二芯片的接地线电连接;
所述第二芯片还包括用于进行信号传输的焊垫,所述焊垫与所述第二芯片的接地线电连接。
2.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,所述第一芯片、第二芯片均还包括位于芯片表层的导电插塞,所述第一芯片、第二芯片中的导电插塞与其所在芯片的接地线电连接,所述第一芯片的导电插塞与第二芯片的导电插塞电连接。
3.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,所述第一芯片、第二芯片均包括衬底和位于所述衬底上的若干层互连线,所述若干层互连线中的至少一层互连线作为所述接地线。
4.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,所述第一芯片、第二芯片中,其中之一为存储芯片、另一为外围电路芯片。
5.根据权利要求1所述的半导体结构,其特征在于,所述第一芯片的器件与第二芯片的器件电连接。
6.根据权利要求1-5任一项所述的半导体结构,其特征在于,所述第一芯片的接地线和所述第二芯片的接地线之间还连接有电源嵌位电路。
7.根据权利要求1-5任一项所述的半导体结构,其特征在于,所述接地线均匀分布在其所属芯片的内部、四周或单边。
8.根据权利要求1-5任一项所述的半导体结构,其特征在于,所述接地线的总宽度不小于5微米。
9.根据权利要求1-5任一项所述的半导体结构,其特征在于,所述第一芯片或第二芯片中的导电插塞的总数量不少于10。
10.根据权利要求1-5任一项所述的半导体结构,其特征在于,所述半导体结构还包括用于保护半导体结构内部结构的封装体。
11.一种半导体结构,其特征在于,包括:
若干堆叠的芯片,所述芯片均包括器件、电连接的接地线和用于进行信号传输的焊垫;
公共接地环,与所述芯片的焊垫电连接。
12.根据权利要求11所述的半导体结构,其特征在于,还包括:包裹所述若干堆叠的芯片和公共接地环的封装体。
13.根据权利要求11或12所述的半导体结构,其特征在于,所述接地线的总宽度不小于5微米。
14.根据权利要求11或12所述的半导体结构,其特征在于,所述第一芯片、第二芯片均包括衬底和位于所述衬底上的若干层互连线,所述若干层互连线中的至少一层互连线作为所述接地线。
15.根据权利要求11或12所述的半导体结构,其特征在于,所述第一芯片、第二芯片中,其中之一为存储芯片、另一为外围电路芯片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的