[发明专利]可持续利用多用探测卡

说明书

本发明公开了一种可持续利用多用探测卡，包括：基座、对准卡、针托架、缓冲框、缓冲垫和固定卡；对准卡套设于芯片的外部并能够将芯片固定于基座；针托架上设置有测试针，测试针的一端位于芯片的顶部且缓冲框覆盖于对准卡的顶部以使得测试针、对准卡相接触，测试针的另一端通过连接孔固定于基座上；缓冲框的两侧分布有缓冲垫，固定卡位于缓冲垫的顶部以使得缓冲垫固定于基座的顶部。该可持续利用多用探测卡能够重复地对芯片进行失效分析，同时成本低。

技术领域

本发明涉及芯片测试，具体地，涉及一种可持续利用多用探测卡。

背景技术

在集成电路急速发展的今天，如何提高产品的良率成为芯片制造者研究的重点。而失效分析，作为解决产品良率的重要手段，发挥了巨大作用，其中如何定位失效，并指导后续失效分析，则是整个失效分析工作的重中之重。实验表明EMMI和OBIRCH的互补应用能够对前段器件和后段互连失效进行精确定位，通过后续分析找到产品失效原因，为生产工艺的改善提供确凿可信的依据。在应用EMMI背面定位失效时一般采用锡焊绑线后反面进行失效定位的方式，而锡焊绑线不能够重复使用，同时采用锡焊绑线机进行绑线的费用也是一笔不小的开支。而采用传统的卡式测试针的方式，需要安装一套相应的硬件和软件进行复杂的定位。

发明内容

本发明的目的是提供一种可持续利用多用探测卡，该可持续利用多用探测卡能够重复地对芯片进行失效分析，同时成本低。

为了实现上述目的，本发明提供了一种可持续利用多用探测卡，包括：基座、对准卡、针托架、缓冲框、缓冲垫和固定卡；对准卡套设于芯片的外部并能够将芯片固定于基座；针托架上设置有测试针，测试针的一端位于芯片的顶部且缓冲框覆盖于对准卡的顶部以使得测试针、对准卡相接触，测试针的另一端通过连接孔固定于基座上；缓冲框的两侧分布有缓冲垫，固定卡位于缓冲垫的顶部以使得缓冲垫固定于基座的顶部。

优选地，芯片通过凝胶固定于基座上。

优选地，芯片上的晶圆间形成压有基准线，对准卡的内缘能够对准基准线。

优选地，芯片的固定位置由芯片的尺寸开口决定以便于EMMI/OBIRCH反面抓热点。

优选地，针托架上的多个测试针平行间隔设置。

优选地，测试针为平针。

优选地，针托架的中间开口大小依据芯片的大小而调整。

优选地，相邻两个测试针间的距离根据缓冲垫相应的信息测试调整。

优选地，缓冲框为斜角框。

优选地，缓冲框为橡胶框。

在上述技术方案中，本发明提供的可持续利用多用探测卡具有可持续使用的优点，进而降低了芯片失效分析的成本；其中，对准卡能够芯片的位置进而便于EMMI/OBIRCH反面抓热点；缓冲垫设置在对准卡两侧能够提高测试时的稳定性；针托架的设置提高了测试时的灵活性；此外，缓冲框固定针托架进而能够进一步提高测试中的稳定性。由此可见，在本发明中，可持续利用多用探测卡能够替代锡焊绑线测试芯片进行EMMI/OBIRCH反面抓热点，同时能够重复利用，进而提高了失效分析中的重复使用率，简化操作。

本发明的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明提供的可持续利用多用探测卡的优选实施方式的结构示意图。

附图标记说明

1、基座 2、芯片