[发明专利]可持续利用多用探测卡

权利要求书

1.一种可持续利用多用探测卡，其特征在于，包括：基座(1)、对准卡(3)、针托架(4)、缓冲框(5)、缓冲垫(7)和固定卡(8)；所述对准卡(3)套设于芯片(2)的外部并能够将所述芯片(2)固定于所述基座(1)；所述针托架(4)上设置有测试针，所述测试针的一端位于所述芯片(2)的顶部且所述缓冲框(5)覆盖于所述对准卡(3)的顶部以使得所述测试针、对准卡(3)相接触，所述测试针的另一端通过连接孔(6)固定于所述基座(1)上；所述缓冲框(5)的两侧分布有缓冲垫(7)，所述固定卡(8)位于缓冲垫(7)的顶部以使得所述缓冲垫(7)固定于所述基座(1)的顶部。

2.根据权利要求1所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，所述芯片(2)通过凝胶固定于所述基座(1)上。

3.根据权利要求1所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，所述芯片(2)上的晶圆间形成压有基准线，所述对准卡(3)的内缘能够对准所述基准线。

4.根据权利要求1所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，所述芯片(2)的固定位置由所述芯片(2)的尺寸开口决定以便于EMMI/OBIRCH反面抓热点。

5.根据权利要求1所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，所述所述针托架上的多个测试针平行间隔设置。

6.根据权利要求1所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，所述测试针为平针。

7.根据权利要求1所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，所述针托架(4)的中间开口大小依据芯片(2)的大小而调整。

8.根据权利要求5所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，相邻两个所述测试针间的距离根据缓冲垫(7)相应的信息测试调整。

9.根据权利要求1所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，所述缓冲框(5)为斜角框。

10.根据权利要求9所述的可持续利用多用探测卡，其特征在于，所述缓冲框(5)为橡胶框。