[发明专利]一种芯片清洗装置

权利要求书

1.一种芯片清洗装置，其特征在于，包括用于放置待清洗芯片的基座；

在所述基座的上表面上设有若干个矩形槽(7)，每个矩形槽(7)被芯片固定凸起(6)划分为多个芯片槽(1)，所述芯片固定凸起(6)位于同一矩形槽(7)的任意两个芯片槽(1)中间；在所述矩形槽(7)的下端还设有贯通槽(3)，所述贯通槽(3)作为洗液的排出管道、及为夹取所述芯片的夹具提供放置位置；

在所述基座的边缘设有提杆连接孔，所述提杆连接孔的上半部分为圆孔，所述提杆连接孔的下半部分为正方形孔；

在所述基座上还设有提杆，所述提杆包括提杆圆柱和提杆方台，所述提杆圆柱穿过所述提杆连接孔，使所述提杆方台嵌套于所述提杆连接孔的正方形孔中，以便通过所述提杆移动所述基座的放置位置。

2.如权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，所述芯片槽(1)的形状为矩形，在每个矩形芯片槽(1)的四个角上均设有倒角通孔(2)。

3.如权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，所述基座上还包括多个的泄液通孔(4)，所述泄液通孔(4)为所述洗液在所述基座上的排出管道。

4.如权利要求1或2或3所述的芯片清洗装置，其特征在于，在所述基座下表面上设有第一支撑架(8)，所述第一支撑架(8)用于将所述基座撑起预设高度，以便所述洗液在所述贯通槽(3)、或泄液通孔(4)、或倒角通孔(2)中流出。

5.如权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，所述基座为圆形。

6.如权利要求1所述的芯片清洗装置，其特征在于，还包括喷头。

7.如权利要求6所述的芯片清洗装置，其特征在于，所述喷头包括喷板、与所述喷板连接的盖板、及与所述盖板连接的喷头连接螺丝；

在所述喷板上设有若干个均匀分布的洗液孔(11)，在所述喷板的边缘设有第二支撑架(14)，当所述盖板盖在所述喷板的第二支撑架(14)一侧时，所述喷板与所述盖板构成洗液容纳腔体；在所述盖板的中央位置设有螺纹连接孔(12)，所述喷头连接螺丝的下半部分与所述螺纹连接孔(12)连接，上半部分与洗液管连接，所述喷头连接螺丝中间开洗液通孔(13)，以使所述洗液通过所述洗液通孔(13)流向所述盖板。