[发明专利]一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置在审
申请号: | 201810941214.7 | 申请日: | 2018-08-17 |
公开(公告)号: | CN109003930A | 公开(公告)日: | 2018-12-14 |
发明(设计)人: | 沈良霖 | 申请(专利权)人: | 浙江雅市晶科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人: | 董芙蓉 |
地址: | 313000 浙江省湖州市长兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固定底盘 电动伸缩杆 支撑架 横板 半导体 自动化上料装置 水平移动装置 半导体基板 转动主轴 连接架 底箱 撕纸 转动 半导体技术领域 加工效率 取送装置 收纸装置 受力均匀 撕纸装置 支撑底板 转动连接 装置实现 破损 节约 加工 保证 | ||
1.一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,包括支撑底板(1),其特征在于:所述支撑底板(1)顶部一侧固定连接有固定底盘(2),所述支撑底板(1)远离固定底盘(2)的一侧固定连接有转动底箱(3),所述固定底盘(2)顶部远离转动底箱(3)的一侧固定连接有电动伸缩杆(4),所述固定底盘(2)顶部位于电动伸缩杆(4)靠近转动底箱(3)的一侧固定连接有支撑架(5),所述支撑架(5)远离固定底盘(2)的一侧固定连接有撕纸装置(6),所述固定底盘(2)顶部位于支撑架(5)远离电动伸缩杆(4)的一侧固定连接有收纸装置(7),所述转动底箱(3)内腔底部中间位置转动连接有转动主轴(8),所述转动主轴(8)外表面位于转动底箱(3)内腔固定连接有槽轮(9),所述转动底箱(3)内腔底部位于转动主轴(8)靠近固定底盘(2)的一侧固定连接有转动电机(10),所述转动电机(10)输出端通过联轴器固定连接有主动轮(11),所述转动底箱(3)内腔底部位于转动主轴(8)远离转动电机(10)的一侧固定连接有散热扇(12),所述转动主轴(8)顶端固定连接有横板(13),所述横板(13)远离转动主轴(8)的一侧固定连接有水平移动装置(14),所述水平移动装置(14)远离横板(13)的一侧固定连接有连接架(15),所述连接架(15)远离水平移动装置(14)的一端转动连接有连杆(16),所述连杆(16)远离连接架(15)的一端转动连接有取送装置(17)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述撕纸装置(6)包括支杆(61),所述支杆(61)顶端远离支撑架(5)的一端转动连接有横杆(62),所述横杆(62)靠近收纸装置(7)的一端固定连接有夹块(63),所述夹块(63)远离横杆(62)的一侧固定连接有柔性块(64)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述收纸装置(7)包括收纸架(71)和收纸电机(72),所述收纸架(71)远离固定底盘(2)的一侧转动连接有收纸辊(73),所述收纸辊(73)正面固定连接有从动带轮(74),所述收纸电机(72)输出端通过联轴器固定连接有主动带轮(75),所述主动带轮(75)外表面通过皮带(76)与从动带轮(74)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述散热扇(12)包括散热扇箱(121),所述散热扇箱(121)内腔两侧外壁均开设有百叶扇(122),所述散热扇箱(121)内腔远离转动主轴(8)的一侧固定连接有散热电机(123),所述散热电机(123)输出端通过联轴器固定连接有散热转轴(124),所述散热转轴(124)远离散热电机(123)的一端固定连接有散热扇叶(125)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述水平移动装置(14)包括轨道底槽(141),所述轨道底槽(141)内腔底部远离固定底盘(2)的一侧固定连接有水平电机(142),所述水平电机(142)输出端通过联轴器固定连接有变速器(143),所述变速器(143)远离水平电机(142)的一端转动连接有丝杆(144),所述丝杆(144)外表面螺纹连接有水平滑块(145)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述取送装置(17)包括取送板(171),所述取送板(171)靠近固定底盘(2)的一侧固定连接有真空吸嘴(172),所述取送板(171)远离真空吸嘴(172)的一侧中间位置固定连接有转动器(173),所述取送板(171)远离真空吸嘴(172)的一侧顶部和底部均固定连接有真空泵(174),所述真空泵(174)输入端通过软管与真空吸嘴(172)连通。
7.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述转动主轴(8)贯穿转动底箱(3)并延伸至转动底箱(3)顶部,所述槽轮(9)外表面与主动轮(11)滑动连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造