[发明专利]一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置在审

专利信息
申请号: 201810941214.7 申请日: 2018-08-17
公开(公告)号: CN109003930A 公开(公告)日: 2018-12-14
发明(设计)人: 沈良霖 申请(专利权)人: 浙江雅市晶科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 代理人: 董芙蓉
地址: 313000 浙江省湖州市长兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 固定底盘 电动伸缩杆 支撑架 横板 半导体 自动化上料装置 水平移动装置 半导体基板 转动主轴 连接架 底箱 撕纸 转动 半导体技术领域 加工效率 取送装置 收纸装置 受力均匀 撕纸装置 支撑底板 转动连接 装置实现 破损 节约 加工 保证
【权利要求书】:

1.一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,包括支撑底板(1),其特征在于:所述支撑底板(1)顶部一侧固定连接有固定底盘(2),所述支撑底板(1)远离固定底盘(2)的一侧固定连接有转动底箱(3),所述固定底盘(2)顶部远离转动底箱(3)的一侧固定连接有电动伸缩杆(4),所述固定底盘(2)顶部位于电动伸缩杆(4)靠近转动底箱(3)的一侧固定连接有支撑架(5),所述支撑架(5)远离固定底盘(2)的一侧固定连接有撕纸装置(6),所述固定底盘(2)顶部位于支撑架(5)远离电动伸缩杆(4)的一侧固定连接有收纸装置(7),所述转动底箱(3)内腔底部中间位置转动连接有转动主轴(8),所述转动主轴(8)外表面位于转动底箱(3)内腔固定连接有槽轮(9),所述转动底箱(3)内腔底部位于转动主轴(8)靠近固定底盘(2)的一侧固定连接有转动电机(10),所述转动电机(10)输出端通过联轴器固定连接有主动轮(11),所述转动底箱(3)内腔底部位于转动主轴(8)远离转动电机(10)的一侧固定连接有散热扇(12),所述转动主轴(8)顶端固定连接有横板(13),所述横板(13)远离转动主轴(8)的一侧固定连接有水平移动装置(14),所述水平移动装置(14)远离横板(13)的一侧固定连接有连接架(15),所述连接架(15)远离水平移动装置(14)的一端转动连接有连杆(16),所述连杆(16)远离连接架(15)的一端转动连接有取送装置(17)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述撕纸装置(6)包括支杆(61),所述支杆(61)顶端远离支撑架(5)的一端转动连接有横杆(62),所述横杆(62)靠近收纸装置(7)的一端固定连接有夹块(63),所述夹块(63)远离横杆(62)的一侧固定连接有柔性块(64)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述收纸装置(7)包括收纸架(71)和收纸电机(72),所述收纸架(71)远离固定底盘(2)的一侧转动连接有收纸辊(73),所述收纸辊(73)正面固定连接有从动带轮(74),所述收纸电机(72)输出端通过联轴器固定连接有主动带轮(75),所述主动带轮(75)外表面通过皮带(76)与从动带轮(74)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述散热扇(12)包括散热扇箱(121),所述散热扇箱(121)内腔两侧外壁均开设有百叶扇(122),所述散热扇箱(121)内腔远离转动主轴(8)的一侧固定连接有散热电机(123),所述散热电机(123)输出端通过联轴器固定连接有散热转轴(124),所述散热转轴(124)远离散热电机(123)的一端固定连接有散热扇叶(125)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述水平移动装置(14)包括轨道底槽(141),所述轨道底槽(141)内腔底部远离固定底盘(2)的一侧固定连接有水平电机(142),所述水平电机(142)输出端通过联轴器固定连接有变速器(143),所述变速器(143)远离水平电机(142)的一端转动连接有丝杆(144),所述丝杆(144)外表面螺纹连接有水平滑块(145)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述取送装置(17)包括取送板(171),所述取送板(171)靠近固定底盘(2)的一侧固定连接有真空吸嘴(172),所述取送板(171)远离真空吸嘴(172)的一侧中间位置固定连接有转动器(173),所述取送板(171)远离真空吸嘴(172)的一侧顶部和底部均固定连接有真空泵(174),所述真空泵(174)输入端通过软管与真空吸嘴(172)连通。

7.根据权利要求1所述的一种半导体及泛半导体基板自动化上料装置,其特征在于:所述转动主轴(8)贯穿转动底箱(3)并延伸至转动底箱(3)顶部,所述槽轮(9)外表面与主动轮(11)滑动连接。

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