[发明专利]一种冷阱及共蒸镀膜装置

说明书

本发明公开了一种冷阱及共蒸镀膜装置，该冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中，用以解决现有技术中存在的共蒸元素的过滤效率不高的技术问题。该冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中，包括：密闭的壳体；冷却盘管，设置在壳体内，冷却盘管包括进口端和出口端，冷却盘管的进口端与壳体外的冷源供给装置的出口连通，冷却盘管的出口端与冷源供给装置的进口连通。通过在真空泵与共蒸腔室之间加装这种冷阱，能使流经冷却盘管的冷却介质能与流经壳体内的热流体进行热交换，从而能够有效地降低热流体的温度，并能使热流体中的共蒸元素在遇冷后快速沉积在冷却盘管的表面。

技术领域

本发明涉及太阳能发电技术领域，尤其是涉及一种冷阱及共蒸镀膜装置。

背景技术

太阳能电池片中的铜铟镓硒CIGS镀膜有两种工艺方法，一种是溅射法，一种是共蒸法。

在共蒸法的工艺实现过程中，由于需要真空泵对共蒸腔室抽取真空，来保证必要的本底真空，进而导致共蒸腔室中的共蒸元素，特别是硒元素会弥散到整个真空系统中，使部分共蒸元素通过真空泵。

共蒸元素通过真空泵会使得真空泵出现两个问题：一、由于共蒸元素从高温环境过来，会对真空泵造成过热损坏，缩短了真空泵的使用寿命；二、当共蒸元素经过真空泵时，会有共蒸元素的颗粒沉积在真空泵表面，进一步地缩短真空泵的使用寿命。

在现有技术中，通过在真空泵与共蒸腔室之间加装百叶窗结构，来过滤共蒸元素，减少共蒸元素在真空泵表面的沉积。但是，这种结构过滤效率不高，使得真空泵的表面仍然有大量的共蒸元素沉积。

鉴于此，如何有效地提高共蒸元素的过滤效率，成为一个亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明提供一种冷阱及共蒸镀膜装置，用以解决现有技术中存在的共蒸元素的过滤效率不高的技术问题。

第一方面，为解决上述技术问题，本发明实施例提供的一种冷阱，应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中，所述冷阱包括：

密闭的壳体；

冷却盘管，设置在所述壳体内，所述冷却盘管包括进口端和出口端，所述冷却盘管的进口端与所述壳体外的冷源供给装置的出口连通，所述冷却盘管的出口端与所述冷源供给装置的进口连通。

优选的，所述冷阱还包括：

设置在所述壳体内的支撑筒，所述支撑筒的外表面开设有供热流体流通的通孔，所述冷却盘管盘绕在所述支撑筒的外表面。

优选的，所述支撑筒的中心轴与所述壳体的热流体的流通方向形成设定夹角。

优选的，所述冷阱还包括：

隔热连接组件，所述隔热连接组件连通所述冷却盘管和所述冷源供给装置。

优选的，所述隔热连接组件包括：

连接管，穿过所述壳体且两端分别与所述冷却盘管和所述冷源供给装置连接；

法兰，套设在所述连接管外且紧贴所述壳体外壁，用于真空密封；

隔热组件，设置在所述法兰的内表面与所述连接管的外表面之间，且与所述法兰的内表面和所述连接管的外表面均密封连接。

优选的，所述隔热组件包括：

隔热件，设置在所述法兰的内表面与所述连接管的外表面之间，且与所述法兰的内表面和所述连接管的外表面均密封连接。

优选的，所述隔热组件还包括：

隔热加强件，设置在所述法兰的内表面与所述连接管的外表面之间，且紧贴在所述隔热件背离所述壳体的一侧。

优选的，所述隔热加强件为低温胶。