[发明专利]一种冷阱及共蒸镀膜装置

权利要求书

1.一种冷阱，其特征在于，所述冷阱应用于薄膜太阳能电池的共蒸镀膜设备中，所述冷阱包括：

密闭的壳体；

冷却盘管，设置在所述壳体内，所述冷却盘管包括进口端和出口端，所述冷却盘管的进口端与所述壳体外的冷源供给装置的出口连通，所述冷却盘管的出口端与所述冷源供给装置的进口连通。

2.如权利要求1所述的冷阱，其特征在于，所述冷阱还包括：

设置在所述壳体内的支撑筒，所述支撑筒的外表面开设有供热流体流通的通孔，所述冷却盘管盘绕在所述支撑筒的外表面。

3.如权利要求2所述的冷阱，其特征在于，所述支撑筒的中心轴与所述壳体的热流体的流通方向形成设定夹角。

4.如权利要求3所述的冷阱，其特征在于，所述冷阱还包括：

隔热连接组件，所述隔热连接组件连通所述冷却盘管和所述冷源供给装置。

5.如权利要求4所述的冷阱，其特征在于，所述隔热连接组件包括：

连接管，穿过所述壳体且两端分别与所述冷却盘管和所述冷源供给装置连接；

法兰，套设在所述连接管外且紧贴所述壳体外壁，用于真空密封；

隔热组件，设置在所述法兰的内表面与所述连接管的外表面之间，且与所述法兰的内表面和所述连接管的外表面均密封连接。

6.如权利要求5所述的冷阱，其特征在于，所述隔热组件包括：

隔热件，设置在所述法兰的内表面与所述连接管的外表面之间，且与所述法兰的内表面和所述连接管的外表面均密封连接。

7.如权利要求6所述的冷阱，其特征在于，所述隔热组件还包括：

隔热加强件，设置在所述法兰的内表面与所述连接管的外表面之间，且紧贴在所述隔热件背离所述壳体的一侧。

8.如权利要求6所述的冷阱，其特征在于，所述隔热加强件为低温胶。

9.如权利要求7所述的冷阱，其特征在于，所述隔热连接组件还包括：隔热套管，所述隔热套管套设在所述法兰外，且与所述法兰过盈配合。

10.一种共蒸镀膜装置，所述共蒸镀膜装置包括共蒸腔室和真空泵，其特征在于，所述共蒸镀膜装置还包括权利要求1-9任一项所述的冷阱，所述冷阱的壳体分别与所述共蒸腔室和所述真空泵相连通。