[发明专利]保持构件、保持构件的制造方法、检查装置及切断装置在审

专利信息
申请号: 201810939377.1 申请日: 2018-08-17
公开(公告)号: CN109585352A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 原田昭如 申请(专利权)人: 东和株式会社
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/66;H01L21/48;H01L33/48
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马爽;臧建明
地址: 日本京都府京都市南区上鸟羽*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 保持构件 对象物 光学检查 检查装置 切断装置 吸附孔 边缘检测 弹性树脂 反射层 格子状 配置 吸附 制造
【说明书】:

本发明涉及一种对保持对象物进行保持并用于光学检查的保持构件、保持构件的制造方法、检查装置及切断装置,本发明的课题在于以简单的构成来精度良好地进行保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件(13)对多个保持对象物(10)进行保持并用于光学检查,其包括:弹性树脂(16),设置有对保持对象物(10)进行吸附以加以保持的多个吸附孔(18)、及配置于多个吸附孔(18)之间的格子状的槽(19);以及反射层(20),配置于槽(19)上。

技术领域

本发明涉及一种对保持对象物进行保持并用于光学检查的保持构件、保持构件的制造方法、检查装置及切断装置。

背景技术

作为现有技术,例如在专利文献1中公开了一种电子零件的外观检查装置。所述电子零件的外观检查装置是一种对电子零件中的被检查部位的边缘进行检测,并基于此边缘位置进行被检查部位的尺寸测量及被检查部位的良否判定的电子零件的外观检查装置,其特征在于具备:图像输入部件,从规定方向对检查零件进行拍摄;照明部件,能够对检查零件从与拍摄方向构成锐角的至少两个方向分别照射光;拍摄控制部件,在每次利用照明部件进行不同方向的光照射时使图像输入部件作动来进行拍摄;以及边缘位置检测部件,基于每次进行光照射时所获得的图像信号来对电极部的边缘位置进行检测。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开平8-184410号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在专利文献1所公开的电子零件的外观检查装置中,隔着照相机1的拍摄中心1a左右对称地配置各照明器2,且从左侧的照明器2将A方向上的光照射至检测零件P,从右侧的照明器2将B方向上的光照射至检查零件P。将利用A方向照明与B方向照明所获得的各图像数据的亮度值进行比较,并利用阴影及显色部的有无来查找显现出明暗差别的部分,从而对检查零件P的边缘位置进行检测。因而,存在检测边缘位置的检测机构的构成变得复杂,且边缘位置的检测所需要的时间变长的问题。

本发明用以解决上述课题,其目的在于提供一种能够以简单的构成来精度良好地进行保持对象物的边缘检测的保持构件、保持构件的制造方法、检查装置及切断装置。

解决问题的技术手段

为了解决上述课题,本发明的保持构件是一种对多个保持对象物进行保持并用于光学检查的保持构件,其包括:弹性树脂,设置有对保持对象物进行吸附以加以保持的多个吸附孔、及配置于多个吸附孔之间的格子状的槽;以及反射层,配置于槽上。

为了解决上述课题,本发明的保持构件的制造方法是一种对多个保持对象物进行保持并用于光学检查的保持构件的制造方法,其对形成有多个吸附孔以及格子状的槽的弹性树脂在槽上形成反射层,所述多个吸附孔对保持对象物进行吸附以加以保持,所述格子状的槽配置于所述吸附孔之间。

发明的效果

根据本发明能够精度良好地进行保持对象物的边缘检测。

附图说明

图1是表示本发明的切断装置的概要的概略平面图。

图2(a)及图2(b)是表示实施方式1中的保持构件的概要图,图2(a)是概略平面图,图2(b)是概略剖面图。

图3(a)~图3(e)是表示实施方式1中的保持构件的制造方法的概略工序剖面图。

图4(a)及图4(b)是表示实施方式2中的保持构件的概要图,图4(a)是概略平面图,图4(b)是概略剖面图。

图5(a)~图5(f)是表示实施方式2中的保持构件的制造方法的概略工序剖面图。

符号的说明

1:切断装置;

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