[发明专利]激光系统以及光刻设备

权利要求书

1.一种激光系统，包括：

一种子激光装置，配置以发射具有一第一功率的一输出激光；以及

一激光功率放大装置，配置以放大该输出激光的该第一功率并发射具有一第二功率的该输出激光，其中该激光功率放大装置包括：

一容置腔，用以容纳一增益介质，包括一第一开口以及一第二开口；

一入射透光元件，设置于该第一开口；

一出射透光元件，设置于该第二开口；以及

一能量泵浦，配置以提供能量于该增益介质，

其中具有该第一功率的该输出激光穿过该入射透光元件进入该容置腔内并通过该增益介质，且该容置腔内具有该第二功率的该输出激光穿过该出射透光元件射出于该激光功率放大装置，

其中该入射透光元件与照射于该入射透光元件且具有该第一功率的该输出激光之间具有一第一布鲁斯特角。

2.如权利要求1所述的激光系统，其中该出射透光元件与照射于该出射透光元件且具有该第二功率的该输出激光之间具有一第二布鲁斯特角。

3.如权利要求2所述的激光系统，其中该入射透光元件的材质与该出射透光元件的材质相同，且该入射透光元件与该出射透光元件位于该容置腔的两相反侧。

4.如权利要求1所述的激光系统，还包括一激光发射器，配置以接收由该激光功率放大装置所射出且具有该第二功率的该输出激光并发射一脉冲激光。

5.如权利要求1所述的激光系统，其中该激光功率放大装置还包括一极化反射层，涂布于该出射透光元件，具有该第二功率的该输出激光包括一第一极化波，其中该极化反射层允许包括该第一极化波的该输出激光通过，并反射具有一第二极化波的一返回激光，其中该第一极化波垂直于该第二极化波。

6.如权利要求1所述的激光系统，还包括一激光感测器，配置以检测由该入射透光元件所反射的部分具有该第一功率的该输出激光或该出射透光元件所反射的部分具有该第二功率的该输出激光。

7.一种光刻设备，包括：

一激发腔；

一标的发射器，设置于该激发腔上，且配置以发射一标的；

一种子激光装置，配置以发射具有一第一功率的一输出激光；

一激光功率放大装置，配置以放大该输出激光的该第一功率并发射具有一第二功率的该输出激光，其中该激光功率放大装置包括：

一容置腔，用以容纳一增益介质；

一入射透光元件，设置于该容置腔的一侧；

一出射透光元件，设置于该容置腔的另一侧；以及

一能量泵浦，配置以提供能量于该增益介质，以及

一激光发射器，配置以接收由该激光功率放大装置所射出的该输出激光并发射一脉冲激光至该标的；

其中具有该第一功率的该输出激光穿过该入射透光元件进入该容置腔内并通过该增益介质，且该容置腔内具有该第二功率的该输出激光穿过该出射透光元件射出于该激光功率放大装置，

其中该入射透光元件与照射于该入射透光元件且具有该第一功率的该输出激光之间具有一第一布鲁斯特角。

8.如权利要求7所述的光刻设备，其中该出射透光元件与照射于该出射透光元件且具有该第二功率的该输出激光之间具有一第二布鲁斯特角。

9.如权利要求7所述的光刻设备，其中该激光功率放大装置还包括一极化反射层，涂布于该出射透光元件，当该脉冲激光照射至该标的后，该标的反射部分的该脉冲激光以形成一返回激光至该极化反射层，其中具有该第二功率的该输出激光包括一第一极化波，该返回激光具有垂直于该第一极化波的一第二极化波，且该极化反射层允许包括该第一极化波的该输出激光通过，并反射具有该第二极化波的该返回激光。

10.如权利要求7所述的光刻设备，还包括一激光感测器，配置以检测由该入射透光元件所反射的部分具有该第一功率的该输出激光或该出射透光元件所反射的部分具有该第二功率的该输出激光。