[发明专利]一种基于公自转装载托盘的连续镀膜生产线

权利要求书

1.一种基于公自转装载托盘的连续镀膜生产线，其特征在于：包括公自转托盘(1)、入料模块(2)、真空隔离阀模块(3)、进片真空工艺模块(4)、镀膜真空工艺模块(5)、出片真空工艺模块(6)、出料模块(7)，所述进片真空工艺模块(4)的一端安装有真空隔离阀模块(3)，所述进片真空工艺模块(4)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与镀膜真空工艺模块(5)的一端隔离，所述镀膜真空工艺模块(5)的另一端通过真空隔离阀模块(3)与出片真空工艺模块(6)的一端隔离，所述出片真空工艺模块(6)的另一端安装有真空隔离阀模块(3)；所述公自转托盘(1)由安装托板(1-1)、绝缘座(1-2)、传送导杆(1-3)、承载轴承(1-4)、公转齿轮盘(1-5)、限位轴承(1-6)、自转齿轮(1-7)、自转转轴(1-8)、挂载杆(1-9)、支撑杆(1-10)和固定锁紧盘(1-11)组成，所述传送导杆(1-3)的一端穿过绝缘座(1-2)安装在安装托盘(1-1)上，所述公转齿轮盘(1-5)通过限位轴承(1-6)限定在安装托盘(1-1)上，所述自转转轴(1-8)安装在公转齿轮盘(1-5)上，所述承载轴承(1-4)安装在安装托板(1-1)上，所述承载轴承(1-4)支撑公转齿轮盘(1-5)，所述挂载杆(1-9)的下端与自转转轴(1-8)连接，所述自转转轴(1-8)安装在在工作齿轮盘(1-5)上，所述自转齿轮(1-7)与安装托盘(1-1)的内齿啮合，所述挂载杆(1-9)的上端通过轴承紧固在固定锁紧盘(1-11)上；所述固定锁紧盘(1-11)由支撑杆(1-10)支撑；所述进片真空工艺模块(4)由进片真空腔体(4-1)、加热预处理装置(4-2)、传送磁流体(4-3)、传动同步轴(4-4)、公自转公里导入磁流体(4-5)、传送限位(4-6)、同步导轮(4-7)、工艺安装门(4-8)、偏压工艺航空接头(4-9)、精抽插板阀(4-10)、精抽分子泵(4-11)、精抽前级阀(4-12)、精抽前级管道(4-13)、粗抽挡板阀(4-14)、粗抽罗茨泵(4-15)、粗抽管道(4-16)、粗抽机械泵(4-17)和精抽前级泵(4-18)组成，所述进片真空腔体(4-1)顶部安装有加热预处理装置(4-2)，所述进片真空腔体(4-1)下部安装有传送磁流体(4-3)，所述传送磁流体(4-3)与同步导轮(4-7)连接，所述进片真空腔体(4-1)下端设有精抽分子泵(4-11)，所述精抽分子泵(4-11)的上端设有精抽插板阀(4-10)，所述精抽分子泵(4-11)的下端设有精抽前级阀(4-12)，所述精抽前级阀(4-12)通过精抽前级管道(4-13)与精抽前级泵(4-18)连通，所述精抽前级泵(4-18)的上端安装有粗抽机械泵(4-17)，所述粗抽机械泵(4-17)与粗抽罗茨泵(4-15)连接，所述粗抽罗茨泵(4-15)的顶部设有粗抽挡板阀(4-14)所述粗抽挡板阀(4-14)通过粗抽管道(4-16)与真空腔体(4-1)连接，所述公自转公里导入磁流体(4-5)包含公自转动力导入磁流体(4-5-1)、磁流体动力引入轴(4-5-2)、动力齿轮轴承座(4-5-3)、动力齿轮轴(4-5-4)、动力齿轮(4-5-5)，所述公自转动力导入磁流体(4-5-1)上装有磁流体动力引入轴(4-5-2)，所述动力齿轮轴(4-5-4)通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(4-5-3)上，所述动力齿轮(4-5-5)为高温棘齿单向齿轮，且通过键槽紧固于动力齿轮轴(4-5-4)上；所述镀膜真空工艺模块(5)由镀膜工艺真空腔体(5-1)、外置线性源(5-2)、同步导轮(5-3)、传送磁流体(5-4)、传送同步轴(5-5)、公自转公里导入磁流体(5-6)、镀膜工艺安装门(5-7)、分子泵(5-8)、前级挡板阀(5-9)、前级抽气管道(5-10)、前级阀(5-11)和前级泵(5-12)组成，所述前级泵(5-12)上安装有前级阀(5-11)，所述前级阀(5-11)通过前级抽气管道(5-10)与分子分子泵(5-8)连接，所述分子泵(5-8)上安装有前级挡板阀(5-9)，所述连接分子泵(5-8)与镀膜工艺真空腔体(5-1)连接，所述镀膜工艺真空腔体(5-1)的底端设置有传送同步轴(5-5)，所述镀膜工艺真空腔体(5-1)内部设置有传送磁流体(5-4)，所述传送磁流体(5-4)与同步导轮(5-3)连接，所述公自转公里导入磁流体(5-6)安装在镀膜工艺真空腔体(5-1)内部，所述公自转公里导入磁流体(5-6)由公自转动力导入磁流体(5-6-1)、磁流体动力引入轴(5-6-2)、动力齿轮轴承座(5-6-3)、动力齿轮轴(5-6-4)、动力齿轮轴(5-6-4)上和动力齿轮(5-6-5)组成，所述公自转动力导入磁流体(5-6-1)上安装磁流体动力引入轴(5-6-2)，所述动力齿轮轴(5-6-4)通过轴承紧固于动力齿轮轴承座(5-6-3)上，所述动力齿轮(5-6-5)通过键槽紧固于动力齿轮轴(5-6-4)上，所述动力齿轮(5-6-5)的与公转齿轮盘(1-5)啮合； 所述镀膜工艺真空腔体(5-1)上安装有外置线性源(5-2)和镀膜工艺安装门(5-7)；所述出片真空工艺模块(6)与进片真空工艺模块(4)结构相同，当所述入料模块(2)上的公自转托盘(1)送入所述进片真空腔体(4-1)后，所述公转齿轮盘(1-5)与所述动力齿轮(4-5-5)相啮合，当所述入料模块(2)上的公自转托盘(1)送入所述镀膜工艺真空腔体(5-1)后，所述公转齿轮盘(1-5)与所述动力齿轮(5-6-5)相啮合。