[发明专利]增强铝薄膜渐变中性密度滤光片及其制造方法

说明书

本发明属舞台灯光配件领域，尤其涉及一种增强铝薄膜渐变中性密度滤光片及其制造方法，包括基底（1）；在所述基底（1）一侧镀有增强铝膜（2）；在所述增强铝膜（2）上刻蚀使光通量随位置连续变化的镂空图案；所述增强铝膜（2）的膜系结构为：Al₂O₃‑Al‑SiO₂‑Ta₂O₅‑SiO₂‑Ta₂O₅；所述基底（1）采用石英玻璃或高硼硅酸盐玻璃。本发明薄膜结实牢固，可耐高温强光，薄膜光通量呈连续变化，且出射光均匀细腻。

技术领域

本发明属舞台灯光配件领域，尤其涉及一种增强铝薄膜渐变中性密度滤光片及其制造方法。

背景技术

舞台灯光也叫“舞台照明”，是舞台美术造型手段之一。舞台灯光是光电一体化的照明设备，可以实现光亮、光色、照明图案、动态摇摆、闪烁等多种灯光效果。

舞台灯光一般采用大功率的氙灯、金卤灯、荧光灯、卤钨灯（卤素灯）、蒸铝泡、白炽灯等作为光源。其光源在使用过程中一般都是一直点亮的，不会频繁开关，一方面是因为光源从点亮到达到目标光效需要较长时间，如果频繁开关，会影响照明效果；另一方面是频繁开关光源会降低光源寿命。

舞台灯光可以实现多种照明效果，有一种照明效果是亮暗的逐步变换，还有一种效果是闪烁照射。对于大功率舞台灯光由于其光源是常亮的，所以一般采用机械方法进行调光，这需要使用渐变衰减片。渐变衰减片白色部分透光，黑色部分不透光，通过改变渐变衰减片的位置可以改变透光面积，从而改变光通量。

要实现光通量的连续变化可以采用中性密度滤光片，但中性密度滤光片对光具有强烈的吸收效果，光损伤阈值较低。舞台灯光均属强光光源，远超过中性密度滤光片的光损伤阈值，会对膜层造成永久性损坏，所以中性密度滤光片不适用于舞台灯光。

业界常用对金属板进行加工制作成渐变衰减片，由于金属板足够厚，能够耐住高温和强光的照射。但按这种方法制作的渐变衰减片存在两个缺点：一是受机械加工能力的限制，分辨率较低，出射光源不均匀；二是衰减片的制造一般采用打孔或狭缝镂空的方式获得，随着通光量的增加，强度逐渐降低，容易损坏。

发明内容

本发明旨在克服现有技术的不足而提供一种结构简单，薄膜结实牢固，可耐高温强光，薄膜光通量呈连续变化，且出射光均匀细腻的增强铝薄膜渐变中性密度滤光片及其制造方法。

为解决上述技术问题，本发明是这样实现的：

一种增强铝薄膜渐变中性密度滤光片，它包括基底；在所述基底一侧镀有增强铝膜；在所述增强铝膜上刻蚀使通光量随位置连续变化的镂空图案。

作为一种优选方案，本发明所述增强铝膜的膜系结构为：Al₂O₃-Al-SiO₂-Ta₂O₅-SiO₂-Ta₂O₅。

进一步地，本发明所述基底可采用石英玻璃或高硼硅酸盐玻璃。

上述增强铝薄膜渐变中性密度滤光片的制造方法，可按如下步骤进行：

（1）选用石英玻璃或高硼硅酸盐玻璃作为基底；

（2）在基底上镀制增强铝膜；增强铝膜的膜系结构为：Al₂O₃-Al-SiO₂-Ta₂O₅-SiO₂-Ta₂O₅；

（3）采用非线性超密光刻工艺，使薄膜光通量呈连续变化。