[发明专利]增强铝薄膜渐变中性密度滤光片及其制造方法有效
| 申请号： | 201810913568.0 | 申请日： | 2018-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN108897086B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 金秀;高鹏;王忠连;胡雯雯;张勇喜;赵帅锋;陈静;阎岩 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B1/10 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 增强 薄膜 渐变 中性 密度 滤光 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.增强铝薄膜渐变中性密度滤光片的制造方法，其特征在于，按如下步骤进行：
（1）选用石英玻璃或高硼硅酸盐玻璃作为基底；
（2）在基底上镀制增强铝膜；在所述增强铝膜（2）上刻蚀使通光量随位置连续变化的镂空图案；增强铝膜的膜系结构为：
层 材料 物理厚度
1 Al2O2 40.0nm；
2 Al 120.0nm；
3 SiO2 81.0nm；
4 Ta2O5 64.0nm；
5 SiO2 253.0nm；
6 Ta2O5 12.0nm；
（3）采用非线性超密光刻工艺，使薄膜光通量呈连续变化；
所述增强铝膜（2）一侧的平均反射率在400～700nm间大于等于93%，绝对反射率在300～380nm间大于等于70%；所述基底一侧的绝对反射率在360～700nm间大于等于80%；所述增强铝膜光密度在350～700nm间大于等于OD6。
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