[发明专利]一种微小电路内部气氛检测校准器

权利要求书

1.一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：包括基座、活塞杆和滑盖，所述基座为长方体结构，基座的中心位置自上而下开有连通的第一活塞杆孔和储气孔，第一活塞杆孔的直径大于储气孔的直径；所述基座上还开有两个进气孔，且两个进气孔均与第一活塞杆孔连通；所述滑盖设置在基座的底面，用于密封储气孔的孔口；所述活塞杆活动设置在第一活塞杆孔内。

2.根据权利要求1所述的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：还包括活塞控制件，所述活塞控制件包括固定座、卡销和手柄；所述固定座设置在基座的上表面，固定座中心自上而下设置有卡销孔和第二活塞杆孔，所述卡销孔的直径要小于第二活塞杆孔的直径，所述第一活塞杆孔和第二活塞杆孔大小相同、位置对应，两者共同构成活塞杆孔；所述卡销设置在卡销孔内，卡销的两端分别连接活塞杆和手柄，所述活塞杆的直径大于卡销孔的直径，且当手柄上提最高时，卡销高出固定座的长度大于进气孔到第一活塞杆孔底端的长度。

3.根据权利要求1所示的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：所述活塞杆底部设置有材料为四氟乙烯的孔塞。

4.根据权利要求1所述的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：所述基座底面设置有方形的滑盖凹槽，滑盖凹槽的一端靠近储气孔且与储气孔垂直，另一端在基座一侧的边缘，滑盖凹槽的两侧有滑动轨道。

5.根据权利要求4所述的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：所述滑动轨道由滑盖凹槽两侧局部凹陷而形成，所述滑盖的两侧局部凸出形成卡条，卡条放置在滑动轨道内。

6.根据权利要求5所述的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：所述滑盖由条形滑动部分和楔形密封部分组成；所述卡条设置在条形滑动部分的两侧；所述基座底面有凹陷区，凹陷区位于储气孔孔口周围且与滑盖凹槽连通，凹陷区的凹陷深度与楔形密封部分的厚度相同，当滑盖朝储气孔滑动后，楔形密封部分紧密贴合于凹陷区表面。

7.根据权利要求6所述的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：所述滑盖凹槽内设置有半球形凹槽，所述条形滑动部分贴近滑盖凹槽的表面设置有半球形的顶珠。

8.根据权利要求1所述的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：所述基座的左、右两侧边缘处开有两个相互对称的U形缺口。

9.根据权利要求8所述的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：所述进气孔对称设置在基座的前后两侧，且位于第一活塞杆孔靠下端位置。

10.根据权利要求1所述的一种微小电路内部气氛检测校准器，其特征在于：所述进气孔的孔口处设置有进气连接件，所述进气连接件包括螺母及气道，所述螺母的一端与进气孔孔口周围的带螺纹圆环连接，螺母的另一端与气道连接。