[发明专利]一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟及其饱和工艺

说明书

本发明公开一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟及其饱和工艺，所述石墨舟包括石墨舟本体，在所述石墨舟本体的全部表面上镀有SiC膜。本发明石墨舟饱和工艺中在石墨舟上镀SiC膜，SiC膜具有良好的耐腐蚀性，因此，在背钝化工艺中不会被笑气腐蚀，可使石墨舟表面平整，不但起到了保护石墨舟的作用，延长了石墨舟的使用寿命，而且保证了背钝化薄膜的均匀性，降低了碎片率。同时，由于SiC薄膜具有优异的耐磨性能，可降低摩擦带来的EL划伤，并使后续的饱和工艺时间大大缩短，从而提高了机台的产能。

技术领域

本发明属于晶硅太阳能电池技术，尤其涉及一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟，还涉及该石墨舟的饱和工艺。

背景技术

为了提升晶硅电池片的减反射和表面钝化效果，通常会在硅片表面制备氮化硅薄膜，而石墨舟的表面状态对管式PECVD方法制备的氮化硅均匀沉积有着重要的影响。清洗后的石墨舟导电性能明显优于硅片的导电性能，因此石墨舟和硅片在镀膜过程中存在着明显的竞争，导致石墨舟与硅片接触的区域沉积速率低，形成严重的色差，以致电池片外观不良和电学性能较差，因而必须对石墨舟进行氮化硅饱和处理，使石墨舟与硅片具有相近的导电性。

但是，氮化硅饱和的石墨舟存在着表面平滑性和致密性均较差的缺点。随着PERC技术的大规模应用，氮化硅饱和的石墨舟在制备背钝化薄膜过程中容易对硅片正面造成EL划伤。而且，由于背钝化工艺中需要使用笑气，会腐蚀氮化硅膜，造成石墨舟表面不平整，不但影响了石墨舟的使用寿命和背钝化薄膜的质量，而且也增加了制程的碎片率。

发明内容

本发明的第一个目的在于提供一种可保证背钝化薄膜的均匀性、降低碎片率、延长石墨舟的使用寿命、减少EL划伤、提高生产效率的晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟。

本发明的第一个目的通过如下的技术方案来实现：一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟，包括石墨舟本体，其特征在于：在所述石墨舟本体的全部表面上镀有SiC膜。

本发明石墨舟饱和工艺中在石墨舟上镀SiC膜，SiC膜具有良好的耐腐蚀性，因此，在背钝化工艺中不会被笑气腐蚀，可使石墨舟表面平整，不但起到了保护石墨舟的作用，延长了石墨舟的使用寿命，而且保证了背钝化薄膜的均匀性，降低了碎片率。同时，由于SiC薄膜具有优异的耐磨性能，可降低摩擦带来的EL划伤，并使后续的饱和工艺(当石墨舟再次清洗需要饱和时)时间大大缩短(可缩短多达120min)，从而提高了机台的产能。

作为本发明的优选实施方式，所述SiC膜的厚度是300～1200nm。

本发明的第二个目的在于提供一种上述晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟的饱和工艺。

本发明的第二个目的通过如下的技术方案来实现：一种上述晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟的饱和工艺，其特征在于具体包括以下步骤：

⑴将石墨舟本体放入炉管并抽真空；

⑵设定炉管的沉积温度；

⑶达到沉积温度后，对石墨舟本体进行放电预处理；

⑷放电预处理完成后，向炉管内通入CH4和SiH4，对石墨舟本体进行镀膜；

⑸将完成镀膜的石墨舟从炉管取出冷却，即得所述晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟。

作为本发明的一种实施方式，所述沉积温度为400～500℃。

作为本发明的一种实施方式，在所述步骤⑶中，使用NH3，流量3～6slm，炉管压强为1000～2000mtorr，射频电源功率为4000～8000W，放电预处理3～10min。