[发明专利]一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟及其饱和工艺在审
| 申请号： | 201810865400.7 | 申请日： | 2018-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN109244019A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 张欣;林纲正;方结彬;陈刚 | 申请（专利权）人： | 浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 侯莉 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨舟 饱和 电池用 种晶 太阳能 机台 表面平整 钝化薄膜 钝化工艺 降低摩擦 耐腐蚀性 耐磨性能 使用寿命 均匀性 碎片率 产能 划伤 笑气 腐蚀 保证 | ||
1.一种晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟，包括石墨舟本体，其特征在于：在所述石墨舟本体的全部表面上镀有SiC膜。
2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于：所述SiC膜的厚度是300～1200nm。
3.一种权利要求1或2所述晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟的饱和工艺，其特征在于包括以下步骤：
⑴将石墨舟本体放入炉管并抽真空；
⑵设定炉管的沉积温度；
⑶达到沉积温度后，对石墨舟本体进行放电预处理；
⑷放电预处理完成后，向炉管内通入CH4和SiH4，对石墨舟本体进行镀膜；
⑸将完成镀膜的石墨舟从炉管取出冷却，即得所述晶硅太阳能PERC电池用的石墨舟。
4.根据权利要求3所述的饱和工艺，其特征在于：所述沉积温度为400～500℃。
5.根据权利要求4所述的饱和工艺，其特征在于：在所述步骤⑶中，使用NH3，流量3～6slm，炉管压强为1000～2000mtorr，射频电源功率为4000～8000W，放电预处理3～10min。
6.根据权利要求5所述的饱和工艺，其特征在于：在所述步骤⑷中，CH4流量4～10slm，SiH4流量100～1500sccm，炉管压强为1000～2000mtorr，射频电源功率为4000～8000W，射频占空比为5：50，镀膜60～240min。
7.根据权利要求6所述的饱和工艺，其特征在于：在所述步骤⑴中，将石墨舟本体放入炉管之前对其进行清洗和烘干。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
