[发明专利]长条形钼靶材的制作方法

说明书

本发明涉及一种长条形钼靶材的制作方法，包括如下步骤：混料、冷等静压、烧结、热轧、退火、裁切、机加工，得到多条长条形钼靶。本发明的长条形钼靶材的制作方法采用提高坯料单重，一次热轧出一块大板，然后分割成多块长条形钼靶材，大大提高了生产效率，使得靶材与靶材之间的一致性较好，成品率高，节省原材料，保证了产品的质量。

技术领域：

本发明涉及钼靶材加工技术领域，尤其涉及一种长条形钼靶材的制作方法。

背景技术：

第六代及6代以上平面显示器溅射机台用的平面型钼靶材，一般是分割型的长条靶材。单条规格如：2300*200*16mm，2260*195*10mm，2650*180*16mm，2650*210*16mm等等。每套靶材一般由8片、10片、12片或14片长条靶组成。好的靶材应具有“三个一致”的特点，即：靶材表面每一处组织结构必须一致；靶材厚度上各处的组织结构必须一致；不同靶材之间的同一处位置组织结构必须一致。

目前的生产工艺一般是单块单块的生产。这样有2个主要缺点：靶材与靶材之间的一致性较难保证；生产效率低，生产成本较高。

发明内容：

本发明针对现有技术中的缺陷，提供一种长条形钼靶材的制作方法，能够一次热轧出多块长条形钼靶材，加工效率高，各钼靶材的一致性好，产品性能优异。

本发明是通过如下技术方案实现的：

一种长条形钼靶材的制作方法，包括如下步骤：

a.混料：将所投钼粉装入混料机，进行30min-2h的混料，使钼粉均匀一致，过筛；

b.冷等静压：装入模具，压制成长方形坯料；

c.烧结：将压制坯料放入中频烧结炉烧结，烧结温度1850-2000℃，保温10-30h，烧结后坯料厚度在50-150mm；

d.热轧：加热温度1300-1450℃，进行一火多道次热轧，道次变形率为15-25％，火次总变形率为30-55％，多道次轧制后使坯料宽度达到多片钼靶宽度，长度达到长条靶的长度，并留长、宽、厚度余量；

e.退火：在真空或氢气环境下加热，加热温度800-1000℃，保温2-6h；

f.裁切：将上述退火后的钼靶分割成多条长条形毛坯；

g.机加工：将上述钼靶送入加工中心内进行机加工。

为了防止烧结过程中坯料发生氧化，步骤c中，烧结过程中通氢气气氛，进行烧结。

在本发明一较佳实施例中，步骤c中，烧结温度为1900℃，保温时间为26h；步骤d中，加热温度为1400℃，道次变形率为23％，火次总变形率为46％。

本发明的有益效果是：本发明的长条形钼靶材的制作方法采用提高坯料单重，一次热轧出一块大板，然后分割成多块长条形钼靶材，大大提高了生产效率，使得靶材与靶材之间的一致性较好，成品率高，节省原材料，保证了产品的质量。

附图说明：

图1为本发明长条形毛坯的结构示意图；

图2为本发明的长条形钼靶材的金相图。

具体实施方式：

下面结合附图对本发明的较佳实施例进行详细阐述，以使本发明的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。