[发明专利]长条形钼靶材的制作方法在审
| 申请号： | 201810851300.9 | 申请日： | 2018-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN108950494A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 祝永华;胡清熊;程忻 | 申请（专利权）人： | 常州苏晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/10;B22F3/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 长条形 钼靶材 靶材 热轧 制作 退火 冷等静压 生产效率 烧结 成品率 机加工 裁切 大板 多块 混料 坯料 钼靶 分割 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种长条形钼靶材的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
a.混料：将所投钼粉装入混料机，进行30min-2h的混料，使钼粉均匀一致，过筛，去除钼粉中的异物；
b.冷等静压：装入模具，压制成长方形坯料；
c.烧结：将压制坯料放入中频烧结炉烧结；
d.热轧：多道次轧制后使坯料宽度达到多片钼靶宽度，长度达到长条靶的长度，并留长、宽、厚度余量；
e.退火：在真空或氢气环境下加热，加热温度800-1000℃，保温2-6h；
f.裁切：将上述退火后的钼靶分割成多条长条形毛坯；
g.机加工：将上述钼靶送入加工中心内进行机加工。
2.根据权利要求1所述的长条形钼靶材的制作方法，其特征在于，步骤c中，烧结过程中通氢气气氛，进行烧结。
3.根据权利要求2所述的长条形钼靶材的制作方法，其特征在于，步骤c中，烧结温度为1850-2000℃，保温时间为10-30h，烧结后坯料厚度在50-150mm。
4.根据权利要求3所述的长条形钼靶材的制作方法，其特征在于，步骤d中，加热温度1300-1450℃，进行一火多道次热轧，道次变形率为15-25％，火次总变形率为30-55％。
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