[发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件制造方法

说明书

本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件制造方法。成膜装置包括：真空腔，所述真空腔定义进行蒸镀工序的空间；基板保持单元，所述基板保持单元设置在所述真空腔内，用于保持并输送基板；冷却板，所述冷却板在所述真空腔内设置在所述基板保持单元的基板支承部上，用于冷却基板；对准台，所述对准台设置在所述真空腔的第一外部面上，用于使所述基板保持单元在第一方向以及与第一方向交叉的第二方向上移动或绕以与所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向为轴的旋转方向旋转；以及冷却板第三方向驱动机构，所述冷却板第三方向驱动机构从所述对准台分离而独立地设置在所述真空腔的所述第一外部面上，用于在所述第三方向上驱动所述冷却板。

技术领域

本发明涉及成膜装置、成膜方法以及电子器件制造方法，涉及具有使冷却板/磁铁板的驱动机构从对准台分离而独立的结构的成膜装置以及使用该成膜装置的成膜方法。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置受到关注。有机EL显示装置是自发光显示器，响应速度、视角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，对于监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携式终端等而言，正在快速代替现有的液晶面板显示器。另外，其应用领域也扩展到了汽车用显示器等。

有机EL显示装置的元件具有如下基本结构：在两个相对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有进行发光的有机物层。有机EL显示器元件的有机物层和电极金属层通过在真空腔内经由形成有像素图案的掩模使蒸镀物质蒸镀到基板上来制造，为了将掩模上的像素图案高精度地转印于基板，必须在向基板进行蒸镀前使掩模和基板的相对位置精密地整齐排列。

因此，对搭载有保持基板的基板保持单元的对准台进行驱动，从而执行相对于掩模台上的掩模对基板保持单元上所保持的基板进行位置调整的对准工序。但是，在以往的对准台上，除基板保持单元的升降机构之外也一起搭载有冷却板/磁铁板的升降机构，因此，若为了相对于掩模台上的掩模的位置来调整基板保持单元上的基板的位置而使对准台在X方向或Y方向上移动或绕θ方向旋转，则不仅基板，而且冷却板/磁铁板也一起移动以及/或者旋转。

在利用输送机器人将基板送入到成膜装置内的过程中，基板在输送机器人的手上移动，输送机器人的手上的基板的位置有时会从确定的位置偏移。在该情况下，从输送机器人的手上接收到基板的基板保持单元上的基板的位置也会因由输送机器人带来的基板的输送误差而从确定的位置偏移。

因如上所述的由输送机器人带来的基板的输送误差而引起的基板相对于掩模的位置偏移，通过在XYθ方向上驱动与基板保持单元相连的对准台进行修正。例如，若因输送机器人的问题而导致基板以从确定的位置以Z轴为中心旋转了5°的状态放置在基板保持单元上(即，若基板保持单元上的基板和掩模台上的掩模以Z轴为中心偏移5°)，则通过使与基板保持单元相连的对准台向相反方向旋转5°，从而对基板相对于掩模台上的掩模的位置偏移进行修正。

但是，由于冷却板/磁铁板升降机构与基板保持单元升降机构一起设置在对准台上，因此，若为了进行基板的位置修正而使对准台向相反方向旋转5°，则冷却板/磁铁板也同样地向相反方向旋转5°。因此，虽然借助对准台的驱动能够消除由基板的输送误差带来的基板和掩模之间的位置偏移，但会残留冷却板/磁铁板和基板之间的位置偏移、冷却版/磁铁板和掩模之间的位置偏移。

如上所述的由输送机器人带来的基板的输送误差的程度按照输送机器人的输送动作而不同，因此，冷却板/磁铁板和基板之间的位置偏移、冷却板/磁铁板和掩模之间的位置偏移的程度会产生偏差。这会使成膜时接触的冷却板和基板之间的最终的定位精度恶化(这会给冷却板对基板的冷却作用带来偏差)，从而给借助磁铁板而紧贴的基板和掩模的紧贴状态带来偏差。

上述这样的、由基板的输送误差带来的冷却板/磁铁板和基板/掩模之间的位置偏移及其位置偏移量的偏差会导致成膜模糊、成膜位置偏移等产品不良或成品率降低等问题。

发明内容