[发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，用于通过掩模将蒸镀材料成膜于基板，其中，所述成膜装置包括：

真空腔，所述真空腔定义进行蒸镀工序的空间；

基板保持单元，所述基板保持单元设置在所述真空腔内，用于保持并输送基板；

冷却板，所述冷却板在所述真空腔内设置在所述基板保持单元的基板支承部上，用于冷却基板；

对准台，所述对准台设置在所述真空腔的第一外部面上，用于使所述基板保持单元在第一方向以及与第一方向交叉的第二方向上移动或绕以与所述第一方向以及所述第二方向交叉的第三方向为轴的旋转方向旋转；以及

冷却板第三方向驱动机构，所述冷却板第三方向驱动机构从所述对准台分离而独立地设置在所述真空腔的所述第一外部面上，使所述冷却板在所述第三方向上移动，并且不在所述第一方向、所述第二方向和所述旋转方向上移动。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其中，

所述冷却板第三方向驱动机构以在所述第一方向、所述第二方向以及所述旋转方向上被固定的方式设置在所述真空腔的所述第一外部面上。

3.如权利要求1所述的成膜装置，其中，

所述对准台包括第一基体板，所述第一基体板以在所述第一方向以及所述第二方向上能够移动且能够绕所述旋转方向旋转的方式设置在所述真空腔的所述第一外部面上。

4.如权利要求2所述的成膜装置，其中，

所述冷却板第三方向驱动机构包括第二基体板，所述第二基体板以在所述第一方向、所述第二方向以及所述旋转方向上被固定的方式设置在所述真空腔的所述第一外部面上。

5.如权利要求3所述的成膜装置，其中，

所述成膜装置还包括基板第三方向驱动机构，所述基板第三方向驱动机构设置在所述第一基体板上，用于在所述第三方向上驱动所述基板保持单元。

6.如权利要求3所述的成膜装置，其中，

所述成膜装置还包括掩模保持单元和掩模第三方向驱动机构，所述掩模保持单元用于保持并输送掩模，所述掩模第三方向驱动机构设置在所述第一基体板上，用于在所述第三方向上驱动所述掩模保持单元。

7.如权利要求6所述的成膜装置，其中，

所述冷却板第三方向驱动机构在所述第三方向上将用于对掩模施加磁力的磁铁板与所述冷却板一起驱动。

8.如权利要求7所述的成膜装置，其中，

在所述冷却板的下部设置对准标记板，所述对准标记板形成有用于所述冷却板和所述掩模保持单元所保持的掩模在所述第一方向、所述第二方向以及所述旋转方向上的位置调整的对准标记。

9.如权利要求8所述的成膜装置，其中，

形成于所述对准标记板的所述对准标记是形成于所述对准标记板的开口。

10.如权利要求7所述的成膜装置，其中，

在所述磁铁板的上部设置对准标记板，所述对准标记板用于所述磁铁板和所述掩模保持单元所保持的掩模在所述第一方向、所述第二方向以及所述旋转方向上的位置调整。

11.如权利要求10所述的成膜装置，其中，

形成于所述对准标记板的所述对准标记是形成于所述对准标记板的开口。

12.如权利要求3所述的成膜装置，其中，

所述成膜装置还包括：固定在所述真空腔的所述第一外部面上的第一电机、以及将来自所述第一电机的驱动力传递到所述第一基体板的第一驱动力传递机构。

13.如权利要求4所述的成膜装置，其中，

所述冷却板第三方向驱动机构还包括：产生用于在所述第三方向上驱动冷却板的驱动力的第二电机、以及用于将来自所述第二电机的驱动力传递到冷却板的第二驱动力传递机构。