[发明专利]一种调节电子显微镜成像参数的方法及装置

权利要求书

1.一种调节电子显微镜成像参数的方法，其特征在于，应用于电子显微镜EM，该方法包括：

所述EM获取执行成像前的准备阶段的第一参数，将所述第一参数输入预先训练得到的所述EM对应的第一成像模型，得到第二参数，所述电子显微镜成像参数包括所述第一参数和第二参数；

按照所述准备阶段的第一参数和得到的第二参数进行成像，得到第一图像；

提取所述得到的第二参数中的第三参数，将所述第三参数输入预先训练得到的所述EM对应的第二成像模型，得到第四参数；

按照所述准备阶段的第一参数、提取的第三参数以及得到的第四参数进行成像，得到第二图像；

基于所述第一图像以及所述第二图像，确定所述电子显微镜成像参数，并按照确定的所述电子显微镜成像参数成像；

所述基于所述第一图像以及所述第二图像，确定所述电子显微镜成像参数，包括：

获取所述第一图像的清晰度和所述第二成像图片的清晰度；

计算所述第一图像的清晰度与所述第二图像的清晰度的差值；

若所述差值小于或等于预设清晰度差阈值，获取所述清晰度最高的图像的成像参数，作为所述EM的成像参数；

若所述差值大于预设清晰度差阈值，提取清晰度最高的图像，替换所述第一图像；修改所述第三参数以调节再次成像的成像参数，执行所述将所述第三参数输入预先训练得到的所述EM对应的第二成像模型的步骤，直至所述差值小于或等于预设清晰度差阈值；

所述EM包括扫描电子显微镜SEM，在所述EM获取执行成像前的准备阶段的第一参数之前，所述方法还包括：

获取清晰的SEM样本图像集，提取所述SEM样本图像集中每一SEM样本图像的成像参数，所述成像参数包括第一参数以及第二参数；

依据所述第一参数，对提取的各SEM样本图像的成像参数进行分类，得到以第一参数为键，以该第一参数对应的第二参数为值的第一键值对集，以及，构建以第三参数为键，以该第三参数对应的第四参数为值的第二键值对集；

以所述第一键值对集中的键作为输入，以该键对应的值作为输出，对预设的第一成像初始模型进行训练，得到所述SEM对应的第一成像模型；以及，以所述第二键值对集中的键作为输入，以该键对应的值作为输出，对预设的第二成像初始模型进行训练，得到所述SEM对应的第二成像模型。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

显示所述清晰度最高的图像和所述清晰度最高的图像的成像参数。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一参数包括放大倍数值和加速电压值，所述第二参数包括：电流值、束斑直径值、工作距离值、聚焦函数值、像散函数值；所述第三参数包括：电流值、束斑直径值和工作距离值，所述第四参数包括聚焦函数值和像散函数值。