[发明专利]一种无接触基板抓取搬运装置

说明书

本发明公开了一种无接触基板抓取搬运装置，涉及搬运技术领域，解决了在搬运装置搬运基板的过程中，需要旋回扇叶具有较大的转速，才能使搬运装置具有足够吸引基板的吸力，导致搬运装置能耗高以及吸力较小的问题，其技术方案要点是：包括搬运架和与搬运架固定连接的抓取板；所述抓取板下表面设有多个旋流件，相邻旋流件之间连线围合形成多边形区域；所述旋流件包括主体和置于主体内的空腔；所述主体上表面设有供气口，供气口一端与空腔连通，另一端与供气装置连接；所述主体下表面设有旋风腔，所述旋风腔内侧壁设有多个与空腔连通的旋流切口，具有降低搬运装置的能耗，提高搬运装置吸力的效果。

技术领域

本发明涉及搬运技术领域，更具体地说，它涉及一种无接触基板抓取搬运装置。

背景技术

在现代工业生产中，使用装卸装置对工件进行拾取和搬运的时候，会存在大量接触的情况。接触搬运装置通常会使工件表面划伤或者产生静电。由于接触搬运装置在搬运的过程中会对搬运产品产生不良影响，非接触搬运技术得以快速运用在高端硅片的搬运中。

现检索到公告号为CN102101296B，公告日为2015年5月13的中国专利，该方案公开了一种搬运装置，包括带有圆筒状内孔的罩体、位于罩体内的旋回扇叶以及带动旋回扇叶旋转的动力输入轴；所述罩体的顶端中心位置设置有动力输入轴安装孔以及分布于动力输入轴安装孔四周的吸气口；旋回扇叶由轴套和均匀分布在轴套上的叶片构成，所述的叶片下部垂直，上部弯曲，并且叶片弯曲的方向与旋回扇叶旋转的方向一致；所述的动力输入轴一端穿过动力输入轴安装孔与位于罩体内的旋回扇叶的轴套连接，另一端与位于罩体外的旋转驱动装置连接。

上述引用文件中的搬运装置，在搬运装置搬运基板的过程中，需要旋回扇叶具有较大的转速，才能使搬运装置具有足够吸引基板的吸力，导致搬运装置能耗高以及吸力较小。

发明内容

本发明的目的是提供一种无接触基板抓取搬运装置，具有降低搬运装置的能耗，提高搬运装置吸力的效果。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种无接触基板抓取搬运装置，包括搬运架和与搬运架固定连接的抓取板；所述抓取板下表面设有多个旋流件，相邻旋流件之间连线围合形成多边形区域；所述旋流件包括主体和置于主体内的空腔；所述主体上表面设有供气口，供气口一端与空腔连通，另一端与供气装置连接；所述主体下表面设有旋风腔，所述旋风腔内侧壁设有多个与空腔连通的旋流切口。

通过采用上述技术方案，供气装置向空腔提供气流，气流在空腔内分流后，经旋流切口旋进旋风腔，气流在离心力作用下于空腔内高速旋转，使得旋风腔与搬运基板之间的空层产生负压区，便于将搬运基板非接触抓取，降低了搬运装置的能耗，提高了搬运装置吸力；利用多个旋流件，使得搬运装置抓取搬运基板操作稳定；利用多个旋流切口，使得旋流件产生的吸力较为均匀分布，提高了旋流件抓取搬运基板的稳定性。

本发明进一步设置为：所述主体设有四个旋流切口，相邻旋流切口的旋出方向相互垂直。

通过采用上述技术方案，进一步提高了旋流件抓取搬运基板的稳定性。

本发明进一步设置为：所述旋风腔顶壁设有凸台，多个旋流切口沿凸台四周均匀分布。

通过采用上述技术方案，利用凸台，便于将高速旋转的气流集中，提高了单个旋流件的吸力。

本发明进一步设置为：所述旋流件为顺时针旋流器或逆时针旋流器，所述顺时针旋流器与逆时针旋流器的旋流切口的旋出方向相反。

通过采用上述技术方案，在旋流件抓取搬运基板的过程中，减少搬运基板水平偏移的情况发生，提高了搬运装置搬运的精确性。

本发明进一步设置为：所述抓取板设有四个旋流件，四个旋流件包括两个顺时针旋流器和两个逆时针旋流器；两个顺时针旋流器和两个逆时针旋流器相邻之间交错设置。