[发明专利]一种无接触基板抓取搬运装置

权利要求书

1.一种无接触基板抓取搬运装置，其特征是：包括搬运架(1)和与搬运架(1)固定连接的抓取板(11)；所述抓取板(11)下表面设有多个旋流件(2)，相邻旋流件(2)之间连线围合形成多边形区域；所述旋流件(2)包括主体(26)和置于主体(26)内的空腔(23)；所述主体(26)上表面设有供气口(22)，供气口(22)一端与空腔(23)连通，另一端与供气装置连接；所述主体(26)下表面设有旋风腔(27)，所述旋风腔(27)内侧壁设有多个与空腔(23)连通的旋流切口(24)。

2.根据权利要求1所述的一种无接触基板抓取搬运装置，其特征是：所述主体(26)设有四个旋流切口(24)，相邻旋流切口(24)的旋出方向相互垂直。

3.根据权利要求1所述的一种无接触基板抓取搬运装置，其特征是：所述旋风腔(27)顶壁设有凸台(25)，多个旋流切口(24)沿凸台(25)四周均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种无接触基板抓取搬运装置，其特征是：所述旋流件(2)为顺时针旋流器(21)或逆时针旋流器(211)，所述顺时针旋流器(21)与逆时针旋流器(211)的旋流切口(24)的旋出方向相反。

5.根据权利要求4所述的一种无接触基板抓取搬运装置，其特征是：所述抓取板(11)设有四个旋流件(2)，四个旋流件(2)包括两个顺时针旋流器(21)和两个逆时针旋流器(211)；两个顺时针旋流器(21)和两个逆时针旋流器(211)相邻之间交错设置。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种无接触基板抓取搬运装置，其特征是：相邻所述旋流件(2)之间设有伸缩调节件(3)，所述伸缩调节件(3)两端分别与相邻旋流件(2)固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种无接触基板抓取搬运装置，其特征是：所述伸缩调节件(3)包括与抓取板(11)固定连接的伸缩筒(31)和两个分别与伸缩筒(31)两端插接的伸缩杆(32)，所述伸缩杆(32)远离伸缩筒(31)的端部与相应旋流件(2)固定连接；所述伸缩筒(31)设有多个卡孔(33)，所述伸缩杆(32)设有至少一个与卡孔(33)卡接的弹性锁球(34)。