[发明专利]主动隔振装置

说明书

本发明提供一种主动隔振装置(A)，其包括：承载台(4)，其通过承受推力而移动，来对承载物(S)进行定位；隔振台(1)，其支承承载台(4)；伺服阀(24)，其用于对隔振台(1)施加可抑制该隔振台(1)的振动的控制力；位置与推力获取部(6d)，其获取承载台(4)的移动轨迹上的位置以及进行该移动时承载台4实际承受的推力；以及减振FF控制部(6e)，其根据位置与推力获取部(6d)所获取的内容，对伺服阀(24)进行前馈控制，以使控制力与隔振台(1)上随承载台(4)的移动而产生的振动相匹配。让具有可动式承载台的主动隔振装置实现优异的隔振性能。

技术领域

本处所公开的技术涉及一种主动隔振装置。

背景技术

迄今，就半导体、液晶面板等各种精密设备的制造装置而言，将制造对象放在可动式承载台上以实现准确高速的定位这一做法已广为人知(例如参照专利文献1)。

一般地，承载台上的承载物因为是处于制造过程中的精密设备而不宜振动。于是，在所述专利文献1中，为了尽可能地抑制从地面传来振动，公开了采用主动式隔振装置的做法。

即，在所述专利文献1中记载了一种主动隔振装置，其具有可动式承载台、支承该承载台的隔振台平台、对平台施加可抑制该平台的振动的控制力的伺服阀以及设在平台上的振动传感器(加速度传感器)。该主动隔振装置构成为：根据来自振动传感器的信号来对致动器进行反馈控制。

而且，在所述专利文献1中公开有下述内容：为了既抑制从地面传来的振动又抑制随承载台的移动而产生的振动，不仅进行所述反馈控制，而且还进行前馈控制。

此处，在随承载台的移动而产生的振动中，有的振动起因于隔振台所承受的与承载台被施加的推力对应的反作用力，有的振动起因于与该反作用力相关的旋转力。为了抑制起因于反作用力的振动，例如需要获取承载台被施加的加速度。

另一方面，要抑制起因于旋转力的振动，就需要将承载台的位置与隔振台随承载台的移动而承受的反作用力结合起来进行控制。为了实现更优异的减振性能，还需要抑制起因于旋转力的振动。

于是，专利文献1中所记载的主动隔振装置构成为：对承载台(移动物) 的位置和加速度进行推定，并进行已将上述推定结果反映进去的前馈控制，由此抑制起因于隔振台所承受的反作用力的振动和起因于旋转力的振动。

专利文献1：日本专利第4970904号公报

发明内容

－发明要解决的技术问题－

当采用所述专利文献1所涉及的主动隔振装置时，用于推定承载台的位置和加速度的方法例如可以想到，使用与承载台的控制相关的信息。

此处，一般对承载台的位置进行反馈控制，该反馈控制基于从位置传感器输入过来的信号进行。因此，通过将该反馈控制中所使用的目标值用作推定值，就能够进行更准确的推定。

对此，关于承载台的加速度，出于抑制制造成本等理由，通常不使用加速度传感器。也就是说，一般不对该加速度进行反馈控制。此处，可以想到例如将根据与承载台的控制相关的信息而计算出的目标值用作加速度的推定值，但考虑到承载台所承受的摩擦力等，该推定值与加速度的实测值之间可能出现偏差。上述偏差通常能通过反馈控制消除，但正如刚才所说明的那样，一般不对承载台的加速度进行反馈控制，因此该偏差会保留下来。

像这样，如果加速度的推定值与实际值之间存在偏差，则不利于实现更精密的控制。从提高主动隔振装置的减振性能的角度出发，这种情况是不理想的。

此处所公开的技术正是鉴于上述各点而完成的，其目的在于：让具有可动式承载台的主动隔振装置实现优异的减振性能。

－用于解决技术问题的技术方案－