[发明专利]主动隔振装置有效
| 申请号： | 201810826436.4 | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109307042B | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 岸本伊知郎;阿部成吾;星田莉奈;李敏;高桥伸悟 | 申请（专利权）人： | 仓敷化工株式会社 |
| 主分类号： | G05D19/02 | 分类号： | G05D19/02;F16F15/027;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 日本冈山县仓敷市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 主动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种主动隔振装置，其特征在于，包括：
承载台，其通过承受推力而移动，来对承载物进行定位，
隔振台，其用于支承所述承载台，
致动器，其用于对所述隔振台施加可抑制该隔振台的振动的控制力，
承载台状态获取部，其用于获取所述承载台的移动轨迹上的位置以及进行该移动时所述承载台实际承受的推力；以及
控制部，其根据所述承载台状态获取部所获取的内容，控制所述致动器，以使控制力与所述隔振台上随所述承载台的移动而产生的振动相匹配，
所述承载台状态获取部根据所述承载台的质量、加速度指令值以及所述承载台承受的动摩擦力，来事先获取所述承载台承受的推力。
2.根据权利要求1所述的主动隔振装置，其特征在于，
所述控制部根据所述承载台状态获取部所获取的内容，控制所述致动器，以使控制力与振动相匹配，其中，该振动起因于所述隔振台随所述承载台的移动而承受的旋转力。
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