[发明专利]一种柔性电子纸的制作方法及其柔性电子纸装置有效
申请号: | 201810825364.1 | 申请日: | 2018-07-24 |
公开(公告)号: | CN108828871B | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 毛琼琴;席克瑞 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | G02F1/167 | 分类号: | G02F1/167;G02F1/1679;G02F1/1685;G02F1/1676 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 电子 制作方法 及其 装置 | ||
1.一种柔性电子纸的制作方法,包括:
提供一玻璃基板,在所述玻璃基板的一侧表面形成第一有机材料层;
在所述第一有机材料层远离所述玻璃基板的一侧形成薄膜晶体管层和像素电极层,所述薄膜晶体管层包括多个薄膜晶体管,所述像素电极层包括多个像素电极,所述像素电极与所述薄膜晶体管对应电连接;
对所述薄膜晶体管层远离所述玻璃基板的一侧进行封装形成封装层;
在所述封装层远离所述玻璃基板一侧形成第一保护膜;
将所述玻璃基板和所述第一有机材料层分离;
在所述第一有机材料层远离所述薄膜晶体管层的一侧形成电泳膜;
在所述电泳膜远离所述第一有机材料层的一侧形成第二保护膜,所述第二保护膜一侧的表面设置有公共电极层。
2.根据权利要求1所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,还包括:在所述电泳膜的外围封胶。
3.根据权利要求1所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,所述第一有机材料层通过涂覆工艺形成。
4.根据权利要求3所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,所述第一有机材料层包括聚酰亚胺材料。
5.根据权利要求1所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,还包括:在所述第一有机材料层远离所述玻璃基板的一侧形成像素电极层,并在所述像素电极层远离所述玻璃基板的一侧形成第二有机材料层。
6.根据权利要求5所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,所述第一有机材料层的厚度为H1,所述第二有机材料层的厚度为H2,且,2H2≥H1≥H2。
7.根据权利要求5所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,所述像素电极和所述薄膜晶体管通过第一过孔电连接,所述第一过孔贯穿所述第二有机材料层以暴露出所述像素电极。
8.根据权利要求7所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,所述薄膜晶体管包括有源层、栅极层、源极/漏极层;
所述源极/漏极层与所述有源层电连接且位于所述有源层远离所述第二有机材料层的一侧;
所述栅极层位于所述源极/漏极层远离所述第二有机材料层的一侧。
9.根据权利要求7所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,所述薄膜晶体管包括有源层、栅极层、源极/漏极层;
所述有源层位于所述栅极层远离所述第二有机材料层的一侧;
所述源极/漏极层与所述有源层电连接且位于所述有源层远离所述第二有机材料层的一侧。
10.根据权利要求7所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,所述薄膜晶体管包括有源层、栅极层、源极/漏极层;
所述有源层与所述源极/漏极层电连接,且所述源极/漏极层位于所述有源层远离所述第二有机材料层的一侧;
所述栅极层位于所述有源层远离所述第二有机材料层的一侧。
11.根据权利要求1所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,还包括,在形成所述封装层之前,在所述薄膜晶体管层远离所述玻璃基板一侧形成第一导电层。
12.根据权利要求11所述的柔性电子纸的制作方法,其特征在于,所述像素电极层包括与所述像素电极相互绝缘的公共信号层,所述公共信号层与所述第一导电层电连接。
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