[发明专利]石英玻璃摆片的清洗方法

说明书

本发明是关于一种石英玻璃摆片的清洗方法，将石英玻璃摆片置于清洗篮，依次经过酸洗、漂洗、超声清洗和慢拉干燥。本发明的石英玻璃摆片清洗方法，通过氢氟酸稀溶液能有效去除表面粘附物，其后的漂洗和三级超声清洗进一步保证表面洁净度，最后在纯水中慢拉干燥依靠水的表面张力和热风风切保证不留水渍，提高石英玻璃摆片后续镀膜附着力。并且一次清洗的摆片数量多，自动清洗和干燥，避免了人工清洗造成的摆片挠性梁损毁。

技术领域

本发明涉及一种石英玻璃领域，特别是涉及一种石英玻璃摆片的清洗方法。

背景技术

目前石英玻璃摆片经酸刻蚀加工后的挠性梁约20um厚，玻璃表面会有有机或者无机粘附物，酸液残留等；通过清水多次清洗去除残留酸液，然后置于酒精或氯仿等有机溶液中使用毛刷人工刷洗去除表面粘附物，最后使用纯水或者易会挥发的有机溶剂漂洗后干燥。

上述方法中存在以下不足：(1)人工使用毛刷清洗过程中容易造成摆片挠性梁损坏；(2)摆片清洗后洁净程度不高。

发明内容

本发明的主要目的在于，提供一种新型的石英玻璃摆片的清洗方法，所要解决的技术问题是使其实现石英玻璃摆片的高效清洗，从而更加适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的一种石英玻璃摆片的清洗方法，将石英玻璃摆片置于清洗篮，依次经过酸洗、漂洗、超声清洗和慢拉干燥。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的清洗篮为耐酸的塑料制品。

优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的清洗篮中放置多个石英玻璃摆片，相邻的两个石英玻璃摆片的间距大于等于5mm。

优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的酸洗的溶液为氢氟酸溶液，质量浓度为0.5-3％，酸洗的时间为2-5min。

优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的漂洗包括：采用电阻率大于18MΩ·cm的去离子水进行溢流漂洗。

优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的超声清洗包括一级清洗、二级清洗和三级清洗，超声清洗的温度为35-45℃。

优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的一级清洗的振动频率为40-50kHz；

所述的二级清洗的振动频率为40-50kHz；

所述的三级清洗的振动频率为115-125kHz。

优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的慢拉干燥包括：将所述的清洗篮置于水中，将清洗篮以1-3mm/min速率提出水面，当清洗篮完全离开水面时，用热风吹扫所述的清洗篮。

优选的，前述的石英玻璃摆片的清洗方法，其中所述的热风经过100级高效过滤网处理，所述的热风的温度为60-100℃。

借由上述技术方案，本发明石英玻璃摆片的清洗方法至少具有下列优点：

本发明的石英玻璃摆片清洗方法，通过氢氟酸稀溶液浸泡2-5min能有效去除表面粘附物，其后的漂洗和三级超声清洗进一步保证表面洁净度，最后在纯水中慢拉干燥依靠水的表面张力和热风风切保证不留水渍，提高石英玻璃摆片后续镀膜附着力。并且一次清洗的摆片数量多，自动清洗和干燥，避免了人工清洗造成的摆片挠性梁损毁。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

图1是清洗篮的俯视图。