[发明专利]石英玻璃摆片的清洗方法在审
| 申请号： | 201810824621.X | 申请日： | 2018-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109013526A | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 杜秀蓉 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/04;B08B3/12;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王伟锋;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英玻璃摆片 清洗 超声清洗 漂洗 摆片 氢氟酸稀溶液 表面洁净度 表面粘附物 镀膜附着力 人工清洗 一次清洗 自动清洗 挠性梁 清洗篮 热风 去除 水中 水渍 酸洗 损毁 保证 | ||
1.一种石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，将石英玻璃摆片置于清洗篮，依次经过酸洗、漂洗、超声清洗和慢拉干燥。
2.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的清洗篮为耐酸的塑料制品。
3.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的清洗篮中放置多个石英玻璃摆片，相邻的两个石英玻璃摆片的间距大于等于5mm。
4.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的酸洗的溶液为氢氟酸溶液，质量浓度为0.5-3％，酸洗的时间为2-5min。
5.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的漂洗包括：采用电阻率大于18MΩ·cm的去离子水进行溢流漂洗。
6.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的超声清洗包括一级清洗、二级清洗和三级清洗，超声清洗的温度为35-45℃。
7.根据权利要求6所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的一级清洗的振动频率为40-50kHz；
所述的二级清洗的振动频率为40-50kHz；
所述的三级清洗的振动频率为115-125kHz。
8.根据权利要求1所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的慢拉干燥包括：将所述的清洗篮置于水中，将清洗篮以1-3mm/min速率提出水面，并用热风吹扫所述的清洗篮。
9.根据权利要求8所述的石英玻璃摆片的清洗方法，其特征在于，所述的热风经过100级高效过滤网处理，所述的热风的温度为60-100℃。
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