[发明专利]粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置

说明书

本发明提供一种能够防止粉尘等微小异物附着于基板而得到高品质的产品的粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。本发明的粉尘飞散防止装置(14A、15A、16A)防止粉尘附着于被加工的基板(W)的表面，且具备：罩(14、16)，其以隔开空间的方式覆盖基板(W)的表面；以及加压机构，其始终对该罩内的空间进行加压，该加压机构从在罩(14、16)开口的气体流入口(17)向罩(14、16)内注入压力气体。

技术领域

本发明涉及应用于在玻璃等脆性材料基板上加工出刻划线(切槽)或者沿着刻划线将基板切断用的基板加工装置的粉尘飞散防止装置、及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。

特别是，本发明涉及用于在柔性的OLED(Organic Light Emitting Diode：有机发光二极管)显示器的制造过程中，在将作为柔性基材的树脂膜(聚酰亚胺膜(也称为PI膜))层叠于玻璃基板的上表面而成的母板上加工出刻划线或者将该母板切断的基板加工装置的粉尘飞散防止装置。

背景技术

在切断玻璃基板等脆性材料基板的加工中，以往，将切割轮压接于基板表面并形成刻划线，之后，沿着刻划线从与刻划线形成面相反的一侧的面施加外力而使基板挠曲，由此切断为各个单位基板(参照专利文献1)。

近年来，由于要求显示器的高精细化，所以需要基板的表面品质、端面强度的进一步骤的改善。另外，基于显示器的用途扩大的观点，也存在设为柔性的显示器的需要，制造使用柔性基板的OLED。对于这样的OLED显示器，在制造过程中，在玻璃基板上形成树脂膜(PI膜)，并在树脂膜上形成具有电极层、有机EL层的有机膜。由于电极层、有机EL层等的膜厚薄，而且组成非常纤细，所以即使是极为微小的异物，在附着于树脂膜表面时也会成为产生缺陷的原因，导致成品率的下降。

为了得到高品质且生产率高的OLED显示器制造技术，必须避免对于形成有有机膜形成前的树脂膜(PI膜)的玻璃板的划痕的产生、粉尘等微小异物的附着。即，玻璃板的划痕会成为强度劣化的原因，并且附着的异物会被运送至有机膜形成工序而成为使作业环境劣化的原因。

此外，若在玻璃板背面产生划痕、附着有微小异物，则在进行作为有机膜形成后的产品的玻璃基板与树脂膜的分离的剥离(Lift-Off)工序中，有可能会成为剥离不良的原因，因此，不仅是玻璃基板的表面侧(有机膜形成侧)，对于背面侧也需要极力避免划痕的产生、粉尘的附着。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5210356号公报

发明内容

发明要解决的课题

在一般的基板加工装置中，在刻划线加工时、切断时产生的细微的切粉等粉尘会在附着于基板的表背两面的状态下被运送到下一工序中，因此成为产品品质劣化的重要原因。另外，由于在使要加工的基板向刻划位置移动时，将其载置于输送机、工作台的上表面而进行搬运，所以基板的背面始终与输送机、工作台的表面接触。另外，由于在刻划时也利用输送机、工作台隔着刻划线保持其左右两侧的背面，所以基板背面依然会与输送机、工作台接触。在这样的情况下，接触时间越长，另外，接触状态下的移动距离越长，则在基板背面的小的划痕的产生概率越会增大，并且位于输送机、工作台上的粉尘等微小异物附着的概率越会增大，导致成品率下降，给高精度且品质优良的产品的制造带来障碍。

因此，本发明的目的在于提供一种能够在基板的搬运、加工的过程中有效地防止粉尘等微小异物附着于基板而得到高品质的产品的粉尘飞散防止装置以及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。

用于解决课题的方案