[发明专利]粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置

权利要求书

1.一种粉尘飞散防止装置，其防止粉尘附着于被加工的基板的表面，其特征在于，

所述粉尘飞散防止装置具备：

罩，其以隔开空间的方式覆盖要加工的基板的表面；以及

加压机构，其始终对所述罩内的空间进行加压，

所述加压机构从在所述罩开口的气体流入口向罩内注入压力气体。

2.一种基板加工装置，其用于在基板上加工出刻划线，其特征在于，

所述基板加工装置具备：

刻划机构，其在基板上加工出刻划线；以及

权利要求1所述的粉尘飞散防止装置，

所述粉尘飞散防止装置配置于向所述刻划机构搬运基板的上游搬运部、或者从刻划机构搬出基板的下游搬运部、或者所述上游搬运部及所述下游搬运部这两方。

3.一种基板加工装置，其用于切断基板，其特征在于，

所述基板加工装置具备：

断开机构，其沿着形成于基板的刻划线切断所述基板；以及

权利要求1所述的粉尘飞散防止装置，

所述粉尘飞散防止装置配置于向所述断开机构搬运基板的上游搬运部、或者从所述断开机构搬出基板的下游搬运部、或者所述上游搬运部及所述下游搬运部这两方。

4.一种基板加工装置，其用于切断基板，其特征在于，

所述基板加工装置具备：

刻划机构，其在基板上加工出刻划线；

断开机构，其沿着由所述刻划机构加工出的刻划线切断所述基板；以及

权利要求1所述的粉尘飞散防止装置，

所述粉尘飞散防止装置配置于向所述刻划机构及所述断开机构搬运基板的上游搬运部、或者从所述刻划机构及所述断开机构搬出基板的下游搬运部、或者所述上游搬运部及所述下游搬运部这两方。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的基板加工装置，其中，

所述基板是在玻璃板的上表面层叠有机膜生成用的树脂膜而成的OLED显示器用的母板。