[发明专利]靶材溅镀面粗糙度加工方法在审
| 申请号： | 201810806850.9 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110735118A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 友矿材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 32260 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 中国台湾新竹县竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 加工区 溅镀 粗糙度加工 平均粗糙度 等级要求 默认位置 涂层处理 粗糙度 粗糙面 附着面 洁净度 均匀度 无尘室 美规 喷砂 遮护 制程 擦拭 清洁 加工 | ||
1.一种靶材溅镀面粗糙度加工方法，其特征在于，包括；
(a)取一靶材，并确认靶材上欲进行溅镀的一加工区，与不作溅镀的一非加工区；
(b)利用一胶带包覆非加工区；
(c)以一砂材对加工区进行喷砂处理，使加工区表面形成平均粗糙度(Ra)4～6微米(μm)，且均匀度在10％以下的粗糙面；
(d)以一钼涂层材对该加工区进行喷涂，使加工区表面形成平均粗糙度(Ra)18～20微米(μm)，且均匀度在10％以下的粗糙面；
(e)将胶带去除并配合一擦拭件，对靶材进行擦拭至靶材洁净度符合无尘级数class1000的要求。
2.如权利要求1所述的靶材溅镀面粗糙度加工方法，其特征在于，胶带选自聚酯(PET)胶带、聚乙烯(PE)胶带、聚氯乙烯(PVC)胶带、遮蔽纸胶带(Crepe Paper)、玻璃布胶带(Glass Cloth)、硅胶带(Silicone)、以及丙烯酸胶带(Acrylic)，其中之一或其组合。
3.如权利要求1所述的靶材溅镀面粗糙度加工方法，其特征在于，砂材选自番号#40～50粒径的白色氧化铝砂或二氧化钛砂其中之一或其组合。
4.如权利要求3所述的靶材溅镀面粗糙度加工方法，其特征在于，步骤(c)中的喷砂处理，以距离加工区20～40公分，以10～60度角，用4～10kg/cm2的压力对加工区进行喷砂处理。
5.如权利要求1所述的靶材溅镀面粗糙度加工方法，奇特在于，钼涂层材选自纯度99.95、线径1.6mm的钼线。
6.如权利要求5所述的靶材溅镀面粗糙度加工方法，奇特在于，步骤(d)中的喷涂处理，以距离加工区约50～80公分，以80～90度角，用4～8kg/cm2的空气压力。
7.如权利要求1所述的靶材溅镀面粗糙度加工方法，其特征在于，擦拭件选自class1000至class 1等级区间的擦拭布或无尘纸。
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