[发明专利]探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，用以将一检测机的信号传输予一待测电子对象，其包括有：

一模块化电路板，包括有：

一第一基板，具有一第一表面，于该第一表面上设置有多个第一导电垫片，且该第一基板具有多个第一导电线路，其一端供与该检测机电性连接，另一端分别与该些第一导电垫片电性连接；

一第二基板，具有一第二表面，该第二表面与该第一表面相面对，并与该第一表面之间具有一空隙，该第二表面上设置有多个第二导电垫片，且该第二基板具有多个第二导电线路，其一端分别与该些第二导电垫片电性连接；以及

一中介层，设置于该第一基板与该第二基板之间的该空隙，该中介层包括有多个导电体，该些导电体分别电性连接该些第一导电垫片与该些第二导电垫片；

多根探针，该些探针的一端分别与该些第二导电线路的另一端电性连接，另一端分别供与该待测电子对象接触。

2.如权利要求1所述的探针卡，其中该空隙的垂直高度大于等于10μm。

3.如权利要求1所述的探针卡，其中该中介层包括有一绝缘支撑层，该绝缘支撑层分别抵靠该第一基板的该第一表面与该第二基板的该第二表面，且该绝缘支撑层具有多个穿孔，该些穿孔分别容置有该些导电体。

4.如权利要求1所述的探针卡，其中该中介层包括有一导通层，该导通层具有相背对的一第三表面与该第四表面，该第三表面面对该第一基板，该第四表面面对该第二基板，该导通层具有多个导通路径；部分的该些导电体位于该第一基板与该导通层之间，并分别电性连接该些第一导电垫片与该些导通路径；另一部分的该些导电体位于该第二基板与该导通层之间，并分别电性连接该些第二导电垫片与该些导通路径。

5.如权利要求4所述的探针卡，其中该中介层包括有一第一绝缘支撑层以及一第二绝缘支撑层，该第一绝缘支撑层位于该第一基板与该导通层之间，且分别抵靠该第一基板的该第一表面与该导通层的该第三表面，且该第一绝缘支撑层具有多个穿孔，供容纳部分的该些导电体；该第二绝缘支撑层位于该第二基板与该导通层之间，且分别抵靠该第二基板的该第二表面与该导通层的该第四表面，且该第二绝缘支撑层具有多个穿孔，供容纳另一部分的该些导电体。

6.如权利要求4所述的探针卡，包括有至少一电子组件，设置于该导通层的该第三表面与该第四表面的其中至少一者，且该至少一电子组件与该导通层的该些导通路径电性连接。

7.如权利要求6所述的探针卡，其中该第三表面与该第四表面的其中至少一者凹入形成有一凹槽，该至少一电子组件设置于该凹槽中。

8.如权利要求1所述的探针卡，其中该第一表面的面积为X，该第二表面的面积为Y，其满足以下条件：0.7≦X/Y≦1.0；或0.7≦Y/X≦1.0。

9.如权利要求3所述的探针卡，其中该绝缘支撑层具有至少一镂空区，该第一表面对应该至少一镂空区的面积占该第一表面的面积的10％以上；该第二表面对应该至少一镂空区的面积占该第二表面的面积的10％以上。

10.如权利要求1所述的探针卡，其中该第一基板的该第一表面的面积，以及该第二基板的该第二表面的面积均大于等于900平方公分。

11.如权利要求1所述的探针卡，包括有一载板，该载板具有多个信号传导体，用以分别与该些第二导电线路以及该些探针电性连接。